Наопрема за вакуумско обложувањее составен од многу прецизни делови, кои се изработуваат преку многу процеси, како што се заварување, брусење, стругање, рендање, дупчење, глодање и така натаму. Поради овие работи, површината на деловите од опремата неизбежно ќе биде контаминирана со некои загадувачи како што се маснотии, нечистотија од масло, метални струготини, флукс за заварување, паста за полирање, траги од пот и така натаму. Овие загадувачи лесно испаруваат под услови на вакуум, со што влијаат на крајниот вакуум на опремата.
Покрај тоа, овие вакуумски загадувачи од механичка обработка апсорбираат голема количина на гас во средина со атмосферски притисок, а во вакуумска состојба, овие претходно адсорбирани гасови исто така ќе се ослободат повторно, станувајќи главен фактор што го ограничува граничниот вакуум. Поради оваа причина, загадувачите мора да се отстранат пред да се склопат деловите од машината за вакуумско обложување.
За време на употребата на вакуумска опрема, нејзините компоненти исто така ќе бидат контаминирани. Сепак, загадувањето од овој извор е главно предизвикано од условите на употреба и вакуум пумпата.
1. Испарувањето на филаментот на вакуумскиот мерач под услови на висока температура ќе доведе до формирање на филм на керамичкиот изолатор, што ќе ја оштети неговата изолациска цврстина до одреден степен, а исто така ќе има одредено влијание врз точноста на неговото мерење;
2. Поради испарување на висока температура, на површината во близина на филаментот на електронскиот пиштол ќе се формира метален филм во вакуум;
3. Поради распрскување на обработуваниот дел, внатрешниот ѕид на опремата за јонско гредење ќе биде контаминиран со прскање;
4. Внатрешниот ѕид на опремата за вакуумско испарување ќе биде контаминиран од нејзиниот материјал за испарување;
5. Често се користи систем за вакуумско сушење, а системот ќе биде контаминиран од испарените супстанции;
6. Маслото на дифузионата пумпа и маслото на механичката пумпа во опремата за вакуумско обложување се исто така главен извор на загадување. Откако машината за обложување ќе работи подолго време, во внатрешноста на опремата може да се формира маслен филм.
Накратко, вакуумската санитација на опремата вклучува вакуумска опрема, вакуумски систем, вакуумски процес на производство и други аспекти и врски, како и барањата на самата опрема за вакуумско обложување и посебниот вакуумски процес за условите на употреба. Затоа, вакуумското загадување е проблем достоен за внимание, бидејќи ова загадување ќе влијае на перформансите на опремата, и треба да се обрне внимание на редовно или во секое време чистење.
Време на објавување: 21 февруари 2023 година