Директното таложење со јонски зрак е вид на таложење потпомогнато од јонски зрак. Директното таложење со јонски зрак е таложење со јонски зрак без одвојување на масата. Оваа техника за прв пат е употребена за производство на дијамантски јаглеродни филмови во 1971 година, врз основа на принципот дека главниот дел од катодата и анодата на јонскиот извор е направен од јаглерод.
Разумниот гас се води во комората за празнење, а се додава надворешно магнетно поле за да се предизвика плазма празнење под услови на низок притисок, потпирајќи се на ефектот на распрскување на јоните на електродите за да се произведат јаглеродни јони. Јаглеродните јони и густите јони во плазмата беа индуцирани во комората за таложење во исто време и беа забрзани за да се инјектираат на подлогата поради негативниот притисок на поларизација на подлогата.
Резултатите од тестот покажуваат дека јаглеродните јони со енергија од 50~100eV присобатемпература, во Si, NaCl, KCl, Ni и други супстрати за подготовка на транспарентен дијамантски јаглероден филм, отпорност до 10Q-cm, индекс на прекршување од околу 2, нерастворлив во неоргански и органски киселини, има многу висока тврдост.
——Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 31 август 2023 година