Опремата за вакуумско обложување обично е составена од неколку клучни компоненти, секоја со своја специфична функција, кои работат заедно за да се постигне ефикасно, униформно нанесување на филм. Подолу е даден опис на главните компоненти и нивните функции:
Главни компоненти
Вакуумска комора:
Функција: Обезбедува средина со низок притисок или висок вакуум за да се спречи реакцијата на материјалот за обложување со нечистотии во воздухот за време на испарувањето или распрснувањето, со што се обезбедува чистотата и квалитетот на филмот.
Структура: Обично изработена од високоцврст нерѓосувачки челик или алуминиум, внатрешниот дизајн ја зема предвид распределбата на протокот на воздух и леснотијата на поставување на подлогата.
Систем на вакуумска пумпа:
Функција: Се користи за испумпување на гасот во вакуумската комора за да се постигне потребното ниво на вакуум.
Видови: Вклучувајќи механички пумпи (на пр. ротациони крилни пумпи), турбомолекуларни пумпи, дифузни пумпи и јонски пумпи.
Извор на испарување или извор на распрскување:
Функција: го загрева и испарува материјалот за обложување за да формира пареа или плазма во вакуум.
Видови: вклучувајќи извор на греење со отпор, извор на испарување со електронски сноп, извор на магнетронско распрскување и извор на ласерско испарување, итн.
Држач за подлога и ротирачки механизам:
Функција: Ја држи подлогата и обезбедува рамномерно таложење на материјалот за обложување на површината на подлогата со ротација или осцилација.
КОНСТРУКЦИЈА: Обично вклучува прилагодливи стеги и ротирачки/осцилирачки механизми за сместување на подлоги со различни облици и големини.
Систем за напојување и контрола:
Функција: Обезбедува напојување на изворот на испарување, изворот на распрскување и друга опрема, и ги контролира параметрите на целокупниот процес на обложување, како што се температура, вакуум и време.
Компоненти: Вклучува напојувања, контролни панели, компјутеризирани контролни системи и сензори за следење.
Систем за снабдување со гас (за опрема за прскање):
Функција: Снабдува инертни гасови (на пр., аргон) или реактивни гасови (на пр., кислород, азот) за одржување на плазма или за учество во хемиска реакција за генерирање на специфичен тенок филм.
Компоненти: Вклучува цилиндри за гас, контролери на проток и цевки за довод на гас.
Систем за ладење:
Функција: ги лади изворот на испарување, изворот на распрскување и вакуумската комора за да се спречи прегревање.
Видови: вклучуваат системи за ладење со вода и системи за ладење со воздух, итн.
Систем за следење и детекција:
Функција: Следење во реално време на клучните параметри во процесот на обложување, како што се дебелината на филмот, брзината на таложење, вакуумот и температурата, за да се обезбеди квалитет на обложувањето.
Видови: вклучувајќи микробаланс на кварцен кристал, оптички монитор за дебелина и анализатор на остаток на гас, итн.
Заштитни уреди:
Функција: Обезбедува безбедност на операторите и опремата од опасности предизвикани од високи температури, висок напон или вакуумски средини.
Компоненти: Вклучува штитници, копчиња за итно запирање и безбедносни блокади итн.
Резимирајте.
Опремата за вакуумско обложување го реализира процесот на нанесување на висококвалитетни тенки филмови преку синергистичката работа на овие компоненти. Овие машини играат витална улога во подготовката на оптички, електронски, декоративни и функционални тенки филмови.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 23 јули 2024 година