Ko te whakakikorua marua he taputapu hei whakatakoto i nga kiriata kikokore o nga rawa ki runga i te tïpako. Kei te whakamahia tenei tikanga ki te hanga semiconductors, nga pūtau solar, me nga momo momo paninga mo nga tono whatu me te hiko. Anei he tirohanga matua mo te mahi:
1.Korehau Chamber: Ka mahia te tukanga ki roto i te ruuma korehau hei whakaiti i te poke me te pai ake te whakahaere i te tukanga tuku.
2.Target Material: Ko nga mea hei penapena ka kiia ko te whaainga. Ka whakanohoia tenei ki roto i te ruma korehau.
3.Substrate: Ko te tïpako te rauemi e whakatakotohia ai te kiriata angiangi. Ka whakanohoia ano ki roto i te ruma korehau.
4.Plasma Generation: He hau inert, te tikanga argon, ka whakauruhia ki roto i te ruma. Ka tukuna he ngaohiko teitei ki te whaainga, ka hangaia he plasma (he ahua o te matū kei roto i nga irahiko koreutu me nga katote).
5.Sputtering: Ka tuki nga katote mai i te plasma ki te taonga i whaaia, ka patoto nga ngota, ngota ngota ranei mai i te whaainga. Ka haere enei matūriki i roto i te korehau ka tuku ki runga i te tïpako, ka hanga he kiriata angiangi.
6.Control: Ko te matotoru me te hanganga o te kiriata ka taea te whakahaere tika ma te whakatika i nga tawhā penei i te mana e pa ana ki te whaainga, te pehanga o te hau inert, me te roanga o te tukanga sputtering.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Hūrae-12-2024