Ny vacuum coater sputtering dia fitaovana ampiasaina hametrahana sarimihetsika manify amin'ny fitaovana iray. Ity dingana ity dia matetika ampiasaina amin'ny famokarana semiconductor, sela solar, ary karazana coatings isan-karazany ho an'ny fampiharana optika sy elektronika. Ity misy topimaso fototra momba ny fomba fiasany:
1.Efitrano banga: Ny dingana dia atao ao anaty efitrano banga mba hampihenana ny loto ary ahafahana mifehy tsara kokoa ny fizotran'ny déposition.
2.Target Material: Ny fitaovana hapetraka dia fantatra amin'ny anarana hoe lasibatra. Apetraka ao anatin'ny efitrano banga izany.
3. Substrate: Ny substrate dia ny fitaovana izay hapetraka ny sarimihetsika manify. Apetraka ao anatin'ny efitra banga ihany koa izy io.
4. Plasma Generation: Misy entona inert, matetika argon, dia ampidirina ao amin'ny efitrano. Volavolan-tsarimihetsika avo no ampiharina amin'ny tanjona, mamorona plasma (toetry ny zavatra misy elektronika maimaim-poana sy ion).
5.Sputtering: Ion avy amin'ny plasma mifandona amin'ny fitaovana kendrena, mandondona atôma na molekiola hiala amin'ny tanjona. Ireo poti-javatra ireo dia mandeha amin'ny alàlan'ny vacuum ary mametraka eo amin'ny substrate, mamorona sarimihetsika manify.
6.Control: Ny hateviny sy ny firafitry ny sarimihetsika dia azo fehezina tsara amin'ny alàlan'ny fanitsiana ny mari-pamantarana toy ny hery ampiharina amin'ny tanjona, ny fanerena ny entona inert, ary ny faharetan'ny fizotran'ny sputtering.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Jul-12-2024
