Attīstoties izsmidzināšanas pārklāšanas tehnoloģijai, īpaši magnetrona izsmidzināšanas pārklāšanas tehnoloģijai, pašlaik jebkuram materiālam var sagatavot mērķa plēvi ar jonu bombardēšanu. Tā kā mērķis tiek izsmidzināšanas procesā uzklāts uz kāda veida substrāta, izsmidzināšanas plēves kvalitātei ir svarīga ietekme, tāpēc arī mērķa materiāla prasības ir stingrākas. Izvēloties mērķa materiālu, papildus pašas plēves izmantošanai jāņem vērā arī šādi jautājumi:
1. Pēc plēves izveidošanas mērķa materiālam jābūt ar labu mehānisko izturību un ķīmisku stabilitāti
2. Mērķa un substrāta kombinācijai jābūt spēcīgai, pretējā gadījumā jāuzņemas substrāts ar labu membrānas materiāla kombināciju, vispirms uzsmidzinot pamatplēvi un pēc tam sagatavojot nepieciešamo membrānas slāni.
3. Reakcijas izsmidzināšanas membrānas materiālam jābūt viegli reaģējošam ar gāzi, lai radītu membrānas savienojumus; 4.
4. Saskaņā ar membrānas veiktspējas prasību izpildes priekšnoteikumu, starpība starp mērķa materiāla un substrāta termiskās izplešanās koeficientu ir pēc iespējas mazāka, lai samazinātu termiskā sprieguma ietekmi uz izsmidzināto membrānu.
Termiskā sprieguma ietekme uz izsmidzināšanas plēves; 5.
5. Saskaņā ar membrānas lietošanas un veiktspējas prasībām mērķa materiālam jāatbilst tīrības, piemaisījumu satura, komponentu vienmērīguma, apstrādes precizitātes un citām tehniskām prasībām.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 21. decembris