Izsmidzināšanas vakuuma pārklājuma iekārta ir ierīce, ko izmanto, lai uz substrāta uzklātu plānas materiāla plēves. Šo procesu parasti izmanto pusvadītāju, saules bateriju un dažādu veidu pārklājumu ražošanā optiskām un elektroniskām lietojumprogrammām. Šeit ir sniegts pamata darbības pārskats:
1. Vakuuma kamera: process notiek vakuuma kamerā, lai samazinātu piesārņojumu un nodrošinātu labāku nogulsnēšanas procesa kontroli.
2. Mērķa materiāls: Nogulsnējamo materiālu sauc par mērķi. Tas tiek ievietots vakuuma kamerā.
3. Substrāts: Substrāts ir materiāls, uz kura tiks uzklāta plānā plēve. Tas tiek ievietots arī vakuuma kamerā.
4. Plazmas ģenerēšana: Kamerā ievada inertu gāzi, parasti argonu. Mērķim tiek pielikts augstspriegums, radot plazmu (vielas stāvokli, kas sastāv no brīvajiem elektroniem un joniem).
5. Izsmidzināšana: plazmas joni saduras ar mērķa materiālu, atsitot atomus vai molekulas no mērķa. Pēc tam šīs daļiņas pārvietojas caur vakuumu un nogulsnējas uz substrāta, veidojot plānu plēvīti.
6.Kontrole: Plēves biezumu un sastāvu var precīzi kontrolēt, pielāgojot tādus parametrus kā mērķim pielietotā jauda, inertās gāzes spiediens un izsmidzināšanas procesa ilgums.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 12. jūlijs