Optisko pārklājumu iekārtu darbplūsma parasti ietver šādus galvenos soļus: pirmapstrādi, pārklāšanu, plēves uzraudzību un regulēšanu, dzesēšanu un noņemšanu. Konkrētais process var atšķirties atkarībā no iekārtas veida (piemēram, iztvaikošanas pārklājuma iekārtas, izsmidzināšanas pārklājuma iekārtas utt.) un pārklāšanas procesa (piemēram, vienslāņa plēve, daudzslāņu plēve utt.), bet kopumā optiskās pārklāšanas process ir aptuveni šāds:
Pirmkārt, sagatavošanās posms
Optisko komponentu tīrīšana un sagatavošana:
Pirms pārklāšanas optiskie komponenti (piemēram, lēcas, filtri, optiskais stikls utt.) ir rūpīgi jāiztīra. Šis solis ir pamats pārklājuma kvalitātes nodrošināšanai. Bieži izmantotās tīrīšanas metodes ietver ultraskaņas tīrīšanu, kodināšanu, tīrīšanu ar tvaiku un tā tālāk.
Tīrie optiskie elementi parasti tiek novietoti uz pārklāšanas mašīnas rotējošās ierīces vai skavas sistēmas, lai nodrošinātu to stabilitāti pārklāšanas procesa laikā.
Vakuuma kameras pirmapstrāde:
Pirms optiskā elementa ievietošanas pārklāšanas mašīnā, pārklāšanas kamera ir jāiesūknē līdz noteiktam vakuuma līmenim. Vakuuma vide var efektīvi noņemt gaisā esošos piemaisījumus, skābekli un ūdens tvaikus, novērst to reakciju ar pārklājuma materiālu un nodrošināt plēves tīrību un kvalitāti.
Parasti pārklāšanas kamerai ir jāpanāk augsts vakuums (no 10⁻⁵ līdz 10⁻⁶ Pa) vai vidējs vakuums (no 10⁻³ līdz 10⁻⁴ Pa).
Otrkārt, pārklāšanas process
Sākotnējā pārklājuma avots:
Pārklājuma avots parasti ir iztvaikošanas avots vai izsmidzināšanas avots. Dažādi pārklājuma avoti tiks izvēlēti atkarībā no pārklāšanas procesa un materiāla.
Iztvaikošanas avots: pārklājuma materiāls tiek uzkarsēts iztvaikošanas stāvoklī, izmantojot sildīšanas ierīci, piemēram, elektronu staru iztvaicētāju vai pretestības sildīšanas iztvaicētāju, lai tā molekulas vai atomi iztvaikotu un nogulsnētos uz optiskā elementa virsmas vakuumā.
Izsmidzināšanas avots: Pielietojot augstu spriegumu, mērķis saduras ar joniem, izsmidzināšanas ceļā izspiežot mērķa atomus vai molekulas, kas nogulsnējas uz optiskā elementa virsmas, veidojot plēvi.
Plēves materiāla nogulsnēšanās:
Vakuuma vidē pārklātais materiāls iztvaiko vai izsmidzina no avota (piemēram, iztvaikošanas avota vai mērķa) un pakāpeniski nogulsnējas uz optiskā elementa virsmas.
Lai nodrošinātu, ka plēves slānis ir vienmērīgs, nepārtraukts un atbilst konstrukcijas prasībām, ir precīzi jākontrolē uzklāšanas ātrums un plēves biezums. Uzklāšanas laikā mainīgie parametri (piemēram, strāva, gāzes plūsma, temperatūra utt.) tieši ietekmēs plēves kvalitāti.
Plēves uzraudzība un biezuma kontrole:
Pārklāšanas procesā plēves biezums un kvalitāte parasti tiek uzraudzīta reāllaikā, un visbiežāk izmantotie uzraudzības rīki ir kvarca kristāla mikrosvars (QCM) ** un citi sensori, kas var precīzi noteikt plēves nogulsnēšanās ātrumu un biezumu.
Pamatojoties uz šiem uzraudzības datiem, sistēma var automātiski pielāgot tādus parametrus kā pārklājuma avota jauda, gāzes plūsmas ātrums vai komponenta rotācijas ātrums, lai saglabātu plēves slāņa konsistenci un vienmērīgumu.
Daudzslāņu plēve (ja nepieciešama):
Optiskajām detaļām, kurām nepieciešama daudzslāņu struktūra, pārklāšanas process parasti tiek veikts slāni pa slānim. Pēc katra slāņa uzklāšanas sistēma veiks atkārtotu plēves biezuma noteikšanu un regulēšanu, lai nodrošinātu, ka katra plēves slāņa kvalitāte atbilst konstrukcijas prasībām.
Šis process prasa precīzu katra slāņa biezuma un materiāla veida kontroli, lai nodrošinātu, ka katrs slānis var veikt tādas funkcijas kā atstarošana, pārraide vai traucējumi noteiktā viļņu garuma diapazonā.
Treškārt, atdzesējiet un izņemiet
Kompaktdisks:
Pēc pārklāšanas pabeigšanas optika un pārklāšanas mašīna ir jāatdzesē. Tā kā pārklāšanas procesa laikā iekārtas un komponenti var sakarst, tie ir jāatdzesē līdz istabas temperatūrai, izmantojot dzesēšanas sistēmu, piemēram, dzesēšanas ūdeni vai gaisa plūsmu, lai novērstu termiskus bojājumus.
Dažos augstas temperatūras pārklāšanas procesos dzesēšana ne tikai aizsargā optisko elementu, bet arī ļauj plēvei sasniegt optimālu saķeri un stabilitāti.
Noņemiet optisko elementu:
Pēc atdzesēšanas optisko elementu var izņemt no pārklāšanas iekārtas.
Pirms izņemšanas ir jāpārbauda pārklājuma efekts, tostarp plēves slāņa vienmērīgums, plēves biezums, saķere utt., lai pārliecinātos, ka pārklājuma kvalitāte atbilst prasībām.
4. Pēcapstrāde (pēc izvēles)
Plēves sacietēšana:
Dažreiz pārklātā plēve ir jāsacietē, lai uzlabotu tās izturību pret skrāpējumiem un ilgmūžību. To parasti veic, izmantojot tādus līdzekļus kā termiskā apstrāde vai ultravioletais starojums.
Filmu tīrīšana:
Lai no plēves virsmas noņemtu piesārņotājus, eļļas vai citus piemaisījumus, var būt nepieciešams veikt nelielu tīrīšanu, piemēram, tīrīšanu, ultraskaņas apstrādi utt.
5. Kvalitātes pārbaude un testēšana
Optiskās veiktspējas pārbaude: Pēc pārklājuma uzklāšanas optiskajam komponentam tiek veikta virkne veiktspējas testu, tostarp gaismas caurlaidības, atstarošanas, plēves vienmērīguma utt., lai nodrošinātu, ka tas atbilst tehniskajām prasībām.
Adhēzijas tests: Ar līmlentes vai skrāpējumu testu pārbaudiet, vai plēves un pamatnes saķere ir spēcīga.
Vides stabilitātes pārbaude: Dažreiz ir nepieciešams veikt stabilitātes pārbaudi tādos vides apstākļos kā temperatūra, mitrums un ultravioletā gaisma, lai nodrošinātu pārklājuma slāņa uzticamību praktiskos pielietojumos.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2025. gada 24. janvāris