Tobulėjant dulkių dengimo technologijai, ypač magnetroninio dulkių dengimo technologijai, šiuo metu bet kokiai medžiagai galima paruošti jonų bombardavimo taikinio plėvelę. Kadangi taikinys yra purškiamas dengiant jį ant tam tikro pagrindo, purškiamos plėvelės kokybė turi didelę įtaką, todėl reikalavimai taikinio medžiagai taip pat yra griežtesni. Renkantis taikinio medžiagą, be pačios plėvelės naudojimo, taip pat reikėtų atsižvelgti į šiuos klausimus:
1. Po plėvelės susidarymo tikslinė medžiaga turi turėti gerą mechaninį stiprumą ir cheminį stabilumą
2. Tikslinis ir substrato derinys turi būti tvirtas, kitaip reikia naudoti substratą su geru membraninės medžiagos deriniu, pirmiausia užpurkšti pagrindinę plėvelę, o tada paruošti reikiamą membranos sluoksnį.
3. Kaip reakcijos purškimo membranos medžiaga, ji turi lengvai reaguoti su dujomis, kad susidarytų membranos junginiai; 4.
4. Remiantis membranos eksploatacinių savybių reikalavimais, skirtumas tarp tikslinės medžiagos ir pagrindo šiluminio plėtimosi koeficiento yra kuo mažesnis, kad būtų kuo labiau sumažintas šiluminio įtempio poveikis purškiamai membranai.
Purškimo plėvelės terminio įtempio įtaka; 5.
5. Pagal membranos naudojimo ir eksploatacinius reikalavimus, tikslinė medžiaga turi atitikti grynumo, priemaišų kiekio, komponentų vienodumo, apdirbimo tikslumo ir kitus techninius reikalavimus.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 21 d.