Vakuuminis purškimo įrenginys yra įrenginys, naudojamas plonoms medžiagos plėvelėms nusodinti ant pagrindo. Šis procesas dažniausiai naudojamas puslaidininkių, saulės elementų ir įvairių tipų dangų, skirtų optinėms ir elektroninėms reikmėms, gamyboje. Pateikiame pagrindinę jo veikimo apžvalgą:
1. Vakuuminė kamera: procesas vyksta vakuuminėje kameroje, siekiant sumažinti užterštumą ir geriau kontroliuoti nusodinimo procesą.
2. Tikslinė medžiaga: Nusodinama medžiaga vadinama taikiniu. Jis patalpinamas vakuuminėje kameroje.
3. Pagrindas: Pagrindas yra medžiaga, ant kurios bus nusodinamas plonas sluoksnis. Jis taip pat dedamas į vakuuminę kamerą.
4. Plazmos generavimas: Į kamerą įleidžiamos inertinės dujos, paprastai argonas. Taikiniui taikoma aukšta įtampa, sukurianti plazmą (medžiagos būseną, sudarytą iš laisvųjų elektronų ir jonų).
5. Purškimas: plazmos jonai susiduria su taikinio medžiaga, numušdami atomus arba molekules nuo taikinio. Šios dalelės keliauja per vakuumą ir nusėda ant pagrindo, sudarydamos ploną plėvelę.
6. Valdymas: Plėvelės storį ir sudėtį galima tiksliai kontroliuoti reguliuojant tokius parametrus kaip taikiniui taikoma galia, inertinių dujų slėgis ir purškimo proceso trukmė.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. liepos 12 d.