Įranga naudoja elektronų pluošto garinimo technologiją. Elektronai išspinduliuojami iš katodo siūlo ir sufokusuojami į tam tikrą pluošto srovę, kurią pagreitina potencialas tarp katodo ir tiglio, kad ištirptų ir išgarintų dangos medžiagą. Ji pasižymi dideliu energijos tankiu ir gali išgarinti dangos medžiagą, kurios lydymosi temperatūra yra didesnė nei 3000 ℃. Plėvelė yra labai gryna ir pasižymi dideliu šiluminiu efektyvumu.
Įranga aprūpinta elektronų pluošto garinimo šaltiniu, jonų šaltiniu, plėvelės storio stebėjimo sistema, plėvelės storio korekcijos struktūra ir stabilia skėčio formos ruošinio sukimosi sistema. Jonų šaltinio pagalba padengiant dangą, padidinamas plėvelės kompaktiškumas, stabilizuojamas lūžio rodiklis ir išvengiama bangos ilgio poslinkio dėl drėgmės. Visiškai automatinė plėvelės storio stebėjimo realiuoju laiku sistema gali užtikrinti proceso pakartojamumą ir stabilumą. Ji turi savaiminio lydymosi funkciją, kad sumažėtų priklausomybė nuo operatoriaus įgūdžių.
Įranga taikoma įvairiems oksidams ir metalo dangų medžiagoms, ją galima padengti daugiasluoksnėmis tiksliomis optinėmis plėvelėmis, tokiomis kaip AR plėvelė, ilgųjų bangų pralaidumo plėvelė, trumpųjų bangų pralaidumo plėvelė, skaistinimo plėvelė, AS/AF plėvelė, IRCUT, spalvotų plėvelių sistema, gradientinių plėvelių sistema ir kt. Ji plačiai naudojama AR akinių, optinių lęšių, fotoaparatų, optinių lęšių, filtrų, puslaidininkių pramonės šakose ir kt.