ຂະບວນການເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງເຄືອບ optical ປົກກະຕິແລ້ວປະກອບມີຂັ້ນຕອນຕົ້ນຕໍດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້: pretreatment, ການເຄືອບ, ຕິດຕາມກວດກາຮູບເງົາແລະການປັບ, ຄວາມເຢັນແລະການໂຍກຍ້າຍ. ຂະບວນການສະເພາະອາດຈະແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມປະເພດຂອງອຸປະກອນ (ເຊັ່ນ: coater evaporation, sputtering coater, ແລະອື່ນໆ) ແລະຂະບວນການເຄືອບ (ເຊັ່ນ: ຮູບເງົາຊັ້ນດຽວ, ຮູບເງົາຫຼາຍຊັ້ນ, ແລະອື່ນໆ), ແຕ່ໂດຍທົ່ວໄປ, ຂະບວນການຂອງການເຄືອບ optical ແມ່ນປະມານດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
ກ່ອນອື່ນ ໝົດ, ຂັ້ນຕອນການກະກຽມ
ທໍາຄວາມສະອາດແລະການກະກຽມຂອງອົງປະກອບ optical:
ກ່ອນທີ່ຈະເຄືອບ, ອົງປະກອບ optical (ເຊັ່ນ: ທັດສະນະ, ການກັ່ນຕອງ, ແກ້ວ optical, ແລະອື່ນໆ) ຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມຢ່າງລະອຽດ. ຂັ້ນຕອນນີ້ແມ່ນພື້ນຖານສໍາລັບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງການເຄືອບ. ວິທີການທໍາຄວາມສະອາດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປປະກອບມີການທໍາຄວາມສະອາດ ultrasonic, pickling, ທໍາຄວາມສະອາດອາຍແລະອື່ນໆ.
ອົງປະກອບ optical ທີ່ສະອາດແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວໃສ່ໃນອຸປະກອນ rotating ຫຼືລະບົບ clamping ຂອງເຄື່ອງເຄືອບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພວກເຂົາເຈົ້າສາມາດຄົງທີ່ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການເຄືອບ.
Pretreatment ຂອງຫ້ອງສູນຍາກາດ:
ກ່ອນທີ່ຈະວາງອົງປະກອບ optical ເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງເຄືອບ, ສະພາການເຄືອບຕ້ອງໄດ້ຮັບການສູບນ້ໍາໃນລະດັບທີ່ແນ່ນອນຂອງສູນຍາກາດ. ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສາມາດກໍາຈັດ impurities, ອົກຊີເຈນແລະ vapor ນ້ໍາໃນອາກາດ, ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ເຂົາເຈົ້າ reacting ກັບອຸປະກອນການເຄືອບ, ແລະຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາໄດ້.
ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ຫ້ອງການເຄືອບຕ້ອງການໃຫ້ມີສູນຍາກາດສູງ (10⁻⁵ ຫາ 10⁻⁶ Pa) ຫຼືສູນຍາກາດຂະຫນາດກາງ (10⁻³ຫາ 10⁻⁴ Pa).
ອັນທີສອງ, ຂະບວນການເຄືອບ
ແຫຼ່ງການເຄືອບເລີ່ມຕົ້ນ:
ແຫຼ່ງການເຄືອບແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວແຫຼ່ງການລະເຫີຍຫຼືແຫຼ່ງ sputtering. ແຫຼ່ງການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນຈະຖືກເລືອກຕາມຂະບວນການເຄືອບແລະວັດສະດຸ.
ແຫຼ່ງການລະເຫີຍ: ອຸປະກອນການເຄືອບແມ່ນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນກັບສະຖານະ evaporative ໂດຍໃຊ້ອຸປະກອນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເຊັ່ນ: evaporator beam ເອເລັກໂຕຣນິກຫຼື evaporator ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ເພື່ອໃຫ້ໂມເລກຸນຫຼືອະຕອມຂອງມັນລະເຫີຍແລະຖືກຝາກຢູ່ເທິງຫນ້າຂອງອົງປະກອບ optical ໃນສູນຍາກາດ.
ແຫຼ່ງ Sputtering: ໂດຍການນໍາໃຊ້ແຮງດັນສູງ, ເປົ້າຫມາຍ collides ກັບ ions, sputtering ອອກປະລໍາມະນູຫຼືໂມເລກຸນຂອງເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວ, ທີ່ຝາກຢູ່ດ້ານຂອງອົງປະກອບ optical ປະກອບເປັນຮູບເງົາ.
ການເກັບກໍາຮູບເງົາ:
ໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ວັດສະດຸທີ່ເຄືອບໄດ້ evaporates ຫຼື sputters ຈາກແຫຼ່ງໃດຫນຶ່ງ (ເຊັ່ນ: ແຫຼ່ງການລະເຫີຍຫຼືເປົ້າຫມາຍ) ແລະຄ່ອຍໆຝາກລົງເທິງພື້ນຜິວຂອງອົງປະກອບ optical ໄດ້.
ອັດຕາການດູດຊຶມແລະຄວາມຫນາຂອງຟິມຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຊັ້ນຂອງຟິມແມ່ນເປັນເອກະພາບ, ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການອອກແບບ. ພາລາມິເຕີໃນລະຫວ່າງການຝາກ (ເຊັ່ນ: ປະຈຸບັນ, ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ອຸນຫະພູມ, ແລະອື່ນໆ) ຈະມີຜົນກະທົບໂດຍກົງກັບຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.
ຕິດຕາມກວດກາຮູບເງົາແລະການຄວບຄຸມຄວາມຫນາ:
ໃນຂະບວນການເຄືອບ, ຄວາມຫນາແລະຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາແມ່ນມັກຈະກວດສອບໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງ, ແລະເຄື່ອງມືຕິດຕາມກວດກາທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປແມ່ນ quartz crystal microbalance (QCM) ** ແລະເຊັນເຊີອື່ນໆ, ເຊິ່ງສາມາດກວດສອບອັດຕາການຕົກຄ້າງແລະຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ.
ອີງຕາມຂໍ້ມູນການຕິດຕາມເຫຼົ່ານີ້, ລະບົບສາມາດປັບຕົວກໍານົດການອັດຕະໂນມັດເຊັ່ນ: ພະລັງງານຂອງແຫຼ່ງເຄືອບ, ອັດຕາການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຫຼືຄວາມໄວການຫມຸນຂອງອົງປະກອບເພື່ອຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ.
ຮູບເງົາຫຼາຍຊັ້ນ (ຖ້າຕ້ອງການ):
ສໍາລັບອົງປະກອບ optical ທີ່ຕ້ອງການໂຄງສ້າງ multilayer, ຂະບວນການເຄືອບປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນດໍາເນີນຊັ້ນໂດຍຊັ້ນ. ຫຼັງຈາກການຕົກຄ້າງຂອງແຕ່ລະຊັ້ນ, ລະບົບຈະດໍາເນີນການກວດຫາຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາຊ້ໍາຊ້ອນແລະການປັບຕົວເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຄຸນນະພາບຂອງແຕ່ລະຊັ້ນຂອງຮູບເງົາຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການອອກແບບ.
ຂະບວນການນີ້ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງຄວາມຫນາແລະປະເພດວັດສະດຸຂອງແຕ່ລະຊັ້ນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະຊັ້ນສາມາດປະຕິບັດຫນ້າທີ່ເຊັ່ນການສະທ້ອນ, ການສົ່ງຕໍ່ຫຼືການແຊກແຊງໃນລະດັບຄວາມຍາວຂອງຄື້ນສະເພາະ.
ອັນທີສາມ, ເຢັນແລະເອົາອອກ
CD:
ຫຼັງຈາກການເຄືອບສໍາເລັດຮູບ, optics ແລະເຄື່ອງເຄືອບຕ້ອງໄດ້ຮັບການເຢັນ. ເນື່ອງຈາກອຸປະກອນແລະອົງປະກອບສາມາດຮ້ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ, ພວກມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ເຢັນກັບອຸນຫະພູມຫ້ອງໂດຍລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນ, ເຊັ່ນ: ນ້ໍາເຢັນຫຼືການໄຫຼຂອງອາກາດ, ເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຂອງຄວາມຮ້ອນ.
ໃນບາງຂະບວນການເຄືອບດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມເຢັນບໍ່ພຽງແຕ່ປົກປ້ອງອົງປະກອບຂອງ optical, ແຕ່ຍັງເຮັດໃຫ້ຮູບເງົາສາມາດບັນລຸການຍຶດຫມັ້ນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ດີທີ່ສຸດ.
ເອົາອົງປະກອບ optical ອອກ:
ຫຼັງຈາກທີ່ເຮັດຄວາມເຢັນແລ້ວ, ອົງປະກອບ optical ສາມາດເອົາອອກຈາກເຄື່ອງເຄືອບ.
ກ່ອນທີ່ຈະເອົາອອກ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງກວດກາເບິ່ງຜົນກະທົບຂອງການເຄືອບ, ລວມທັງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນຮູບເງົາ, ຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາ, ການຍຶດເກາະ, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບການເຄືອບໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການ.
4. ຫຼັງການປະມວນຜົນ (ທາງເລືອກ)
ການແຂງຂອງຮູບເງົາ:
ບາງຄັ້ງຮູບເງົາທີ່ເຄືອບຕ້ອງໄດ້ຮັບການແຂງເພື່ອປັບປຸງການຕໍ່ຕ້ານຮອຍຂີດຂ່ວນແລະຄວາມທົນທານຂອງຮູບເງົາ. ນີ້ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດໂດຍວິທີການເຊັ່ນ: ການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນຫຼືລັງສີ ultraviolet.
ທໍາຄວາມສະອາດຮູບເງົາ:
ເພື່ອເອົາສິ່ງປົນເປື້ອນ, ນໍ້າມັນຫຼືສິ່ງສົກກະປົກອື່ນໆອອກຈາກພື້ນຜິວຂອງຮູບເງົາ, ມັນອາດຈະເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອທໍາຄວາມສະອາດເລັກນ້ອຍ, ເຊັ່ນ: ການເຮັດຄວາມສະອາດ, ການປິ່ນປົວ ultrasonic, ແລະອື່ນໆ.
5. ການກວດສອບແລະການທົດສອບຄຸນນະພາບ
ການທົດສອບປະສິດທິພາບ optical: ຫຼັງຈາກການເຄືອບສໍາເລັດ, ຊຸດຂອງການທົດສອບປະສິດທິພາບແມ່ນດໍາເນີນໃນອົງປະກອບ optical, ລວມທັງການຖ່າຍທອດແສງສະຫວ່າງ, ການສະທ້ອນ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາ, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າມັນປະຕິບັດຕາມຂໍ້ກໍານົດດ້ານວິຊາການ.
ການທົດສອບການຍຶດຕິດ: ໂດຍການທົດສອບ tape ຫຼືການທົດສອບຮອຍຂີດຂ່ວນ, ກວດເບິ່ງວ່າການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຮູບເງົາແລະ substrate ແມ່ນແຂງແຮງ.
ການທົດສອບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ: ບາງຄັ້ງມັນຈໍາເປັນຕ້ອງເຮັດການທົດສອບຄວາມຫມັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສິ່ງແວດລ້ອມເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ແລະແສງ ultraviolet ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຊັ້ນເຄືອບໃນການປະຕິບັດຕົວຈິງ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: 24-01-2025