Den Aarbechtsprozess vun optesche Beschichtungsapparater ëmfaasst normalerweis déi folgend Haaptschrëtt: Virbehandlung, Beschichtung, Filmiwwerwaachung an -justéierung, Ofkillung an Entfernung. De spezifesche Prozess ka variéieren jee no der Aart vun der Ausrüstung (wéi z.B. Verdampfungsbeschichtungsapparat, Sputterbeschichtungsapparat, asw.) a Beschichtungsprozess (wéi z.B. Eenzelschichtfilm, Méischichtfilm, asw.), awer am Allgemengen ass de Prozess vun der optescher Beschichtung ongeféier wéi follegt:
Éischtens, d'Virbereedungsphase
Botzen a Virbereedung vun optesche Komponenten:
Virun der Beschichtung mussen optesch Komponenten (wéi Lënsen, Filter, optescht Glas, asw.) grëndlech gebotzt ginn. Dëse Schrëtt ass d'Basis fir d'Qualitéit vun der Beschichtung ze garantéieren. Dacks benotzt Botzmethoden sinn Ultraschallreinigung, Beizen, Dampreinigung asw.
Déi propper optesch Elementer ginn normalerweis op der rotéierender Virrichtung oder dem Klemmsystem vun der Beschichtungsmaschinn placéiert, fir sécherzestellen, datt se während dem Beschichtungsprozess stabil bleiwe kënnen.
Virbehandlung vun der Vakuumkammer:
Ier den opteschen Element an d'Beschichtungsmaschinn agebaut gëtt, muss d'Beschichtungskammer op e gewësse Grad u Vakuum gepompelt ginn. D'Vakuumëmfeld kann Onreinheeten, Sauerstoff a Waasserdamp aus der Loft effektiv ewechhuelen, verhënneren datt se mam Beschichtungsmaterial reagéieren, an d'Rengheet a Qualitéit vum Film garantéieren.
Allgemeng muss d'Beschichtungskammer en héije Vakuum (10⁻⁵ bis 10⁻⁶ Pa) oder e mëttelgrousse Vakuum (10⁻³ bis 10⁻⁴ Pa) erreechen.
Zweetens, de Beschichtungsprozess
Startbeschichtungsquell:
D'Beschichtungsquell ass normalerweis eng Verdampfungsquell oder eng Sputterquell. Verschidde Beschichtungsquellen ginn jee no Beschichtungsprozess a Material ausgewielt.
Verdampfungsquell: D'Beschichtungsmaterial gëtt mat Hëllef vun engem Heizapparat, wéi z. B. engem Elektronestrahlverdampfer oder engem Widerstandsheizverdampfer, an en Verdampfungszoustand erhëtzt, sou datt seng Molekülen oder Atomer verdampfen an op der Uewerfläch vum opteschen Element am Vakuum ofgesat ginn.
Sputterquell: Duerch d'Uwendung vun enger héijer Spannung kollidéiert d'Zil mat Ionen, wouduerch d'Atomer oder Moleküle vum Zil eraussputteren, déi sech op der Uewerfläch vum opteschen Element ofsetzen fir e Film ze bilden.
Oflagerung vu Filmmaterial:
An engem Vakuumëmfeld verdampft oder sputtert dat beschichtet Material vun enger Quell (wéi eng Verdampfungsquell oder e Zil) a setzt sech lues a lues op d'Uewerfläch vum opteschen Element of.
D'Oflagerungsquote an d'Filmedicke musse präzis kontrolléiert ginn, fir sécherzestellen, datt d'Filschicht gläichméisseg a kontinuéierlech ass a mat den Designufuerderunge respektéiert gëtt. Parameteren während der Oflagerung (wéi Stroum, Gasfloss, Temperatur, etc.) beaflossen direkt d'Qualitéit vum Film.
Filmiwwerwaachung a Kontroll vun der Déckt:
Am Beschichtungsprozess ginn d'Déckt an d'Qualitéit vum Film normalerweis a Echtzäit iwwerwaacht, an déi üblech Iwwerwaachungsinstrumenter sinn d'Quarzkristall-Mikrobalance (QCM) ** an aner Sensoren, déi d'Oflagerungsquote an d'Déckt vum Film präzis detektéiere kënnen.
Baséierend op dësen Iwwerwaachungsdaten kann de System automatesch Parameteren wéi d'Leeschtung vun der Beschichtungsquell, de Gasduerchfluss oder d'Rotatiounsgeschwindegkeet vum Baudeel upassen, fir d'Konsistenz an d'Uniformitéit vun der Filmschicht ze erhalen.
Méischichtege Film (wann néideg):
Fir optesch Komponenten, déi eng Méischichtestruktur erfuerderen, gëtt de Beschichtungsprozess normalerweis Schicht fir Schicht duerchgefouert. Nom Oflagere vun all Schicht féiert de System widderholl Detektioun an Upassung vun der Schichtdicke duerch, fir sécherzestellen, datt d'Qualitéit vun all Schicht vum Film den Designufuerderunge entsprécht.
Dëse Prozess erfuerdert eng präzis Kontroll vun der Déckt an dem Materialtyp vun all Schicht, fir sécherzestellen, datt all Schicht Funktiounen ewéi Reflexioun, Transmissioun oder Interferenz an engem spezifesche Wellelängteberäich ausféiere kann.
Drëttens, ofkille loossen an eraushuelen
CD:
Nodeems d'Beschichtung fäerdeg ass, mussen d'Optik an d'Beschichtungsmaschinn ofgekillt ginn. Well Ausrüstung a Komponenten während dem Beschichtungsprozess waarm kënne ginn, musse se mat engem Killsystem, wéi Killwaasser oder Loftstroum, op Raumtemperatur ofgekillt ginn, fir thermesche Schued ze vermeiden.
Bei verschiddenen Héichtemperaturbeschichtungsprozesser schützt d'Ofkillung net nëmmen den opteschen Element, mä erméiglecht et dem Film och eng optimal Adhäsioun a Stabilitéit z'erreechen.
Den opteschen Element ewechhuelen:
Nodeems d'Ofkillung ofgeschloss ass, kann den opteschen Element aus der Beschichtungsmaschinn erausgeholl ginn.
Virum Eraushuelen ass et néideg den Beschichtungseffekt ze kontrolléieren, dorënner d'Uniformitéit vun der Filmschicht, d'Filmdicke, d'Adhäsioun, asw., fir sécherzestellen, datt d'Beschichtungsqualitéit den Ufuerderungen entsprécht.
4. Nobearbechtung (optional)
Filmhärtung:
Heiansdo muss déi beschichtete Folie gehärtet ginn, fir d'Kratzerbeständegkeet an d'Haltbarkeet vun der Folie ze verbesseren. Dëst gëtt normalerweis duerch Mëttelen ewéi Hëtztbehandlung oder ultraviolett Stralung gemaach.
Filmreinigung:
Fir Kontaminanten, Ueleger oder aner Ongereimtheeten vun der Uewerfläch vum Film ze entfernen, kann et néideg sinn, eng kleng Reinigung duerchzeféieren, wéi z. B. Reinigung, Ultraschallbehandlung, etc.
5. Qualitéitsinspektioun an Tester
Opteschen Leeschtungstest: Nodeems d'Beschichtung fäerdeg ass, gëtt eng Serie vu Leeschtungstester op der optescher Komponent duerchgefouert, dorënner Liichttransmittanz, Reflexioun, Filmuniformitéit, etc., fir sécherzestellen, datt se den techneschen Ufuerderungen erfëllt.
Adhäsiounstest: Iwwerpréift mat engem Bandtest oder engem Kratzestest, ob d'Adhäsioun tëscht dem Film an dem Ënnergrond staark ass.
Ëmweltstabilitéitstester: Heiansdo ass et néideg, Stabilitéitstester ënner Ëmweltbedingungen wéi Temperatur, Fiichtegkeet an ultraviolett Liicht duerchzeféieren, fir d'Zouverlässegkeet vun der Beschichtungsschicht a prakteschen Uwendungen ze garantéieren.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 24. Januar 2025