Чачыратуучу каптоо технологиясынын, айрыкча магнетрондук чачыратуу каптоо технологиясынын өсүп-өнүгүшү менен, азыркы учурда ар кандай материалды иондук бомбалоонун максаттуу пленкасы менен даярдоого болот, анткени бутага аны кандайдыр бир субстратка каптоо процессинде чачыратылып жатат, чачыратылган пленканын сапаты маанилүү таасир этет, ошондуктан максаттуу материалдын талаптары дагы катуураак. Максаттуу материалды тандоодо, тасманы колдонуудан тышкары, төмөнкү маселелерди да эске алуу керек:
1. Максаттуу материал пленка пайда болгондон кийин жакшы механикалык күчкө жана химиялык туруктуулукка ээ болушу керек
2. Максат жана субстрат айкалышы күчтүү болушу керек, антпесе субстрат менен кабыл алынышы керек мембраналык материалдын жакшы айкалышы, адегенде базалык пленканы чачып, андан кийин керектүү мембрана катмарын даярдоо.
3 реакция чачыраткыч мембрана материалы кошулмалардын мембранасын түзүү үчүн газ менен реакцияга оңой болушу керек; 4.
4. Мембрананын иштөө талаптарын канааттандыруу шартында максаттуу материал менен субстраттын термикалык кеңейүү коэффициентинин ортосундагы айырма мүмкүн болушунча аз болуп, чачылган мембранага жылуулук стресстин таасирин азайтат.
чачыратуу пленканын жылуулук стрессинин таасири; 5.
5. Мембрананын колдонуу жана аткаруу талаптарына ылайык, максаттуу материал тазалыкка, ыпластыктын мазмунуна, компоненттердин бирдейлигине, иштетүүнүн тактыгына жана башка техникалык талаптарга жооп бериши керек.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 21-декабрь, 2023-жыл