Чачыраткыч вакуумдук каптоочу - бул материалдын жука пленкаларын субстраттын үстүнө салуу үчүн колдонулуучу түзүлүш. Бул процесс көбүнчө жарым өткөргүчтөрдү, күн батареяларын жана оптикалык жана электрондук тиркемелер үчүн ар кандай түрдөгү каптамаларды өндүрүүдө колдонулат. Бул жерде анын кантип иштээри жөнүндө негизги сереп:
1.Vacuum камерасы: процесс булганууну азайтуу жана тундурма процессин жакшыраак көзөмөлдөө үчүн вакуумдук камеранын ичинде ишке ашат.
2.Target Материал: депонирлене турган материал максаттуу катары белгилүү. Бул вакуумдук камеранын ичине жайгаштырылат.
3.Substrate: субстрат жука пленка салынган турган материал болуп саналат. Ал ошондой эле вакуумдук камеранын ичине жайгаштырылат.
4.Plasma Generation: инерттүү газ, адатта, аргон, камерага киргизилет. Бутага жогорку чыңалуу берилип, плазманы (эркин электрондор менен иондордон турган заттын абалы) түзөт.
5.Sputtering: плазмадан келген иондор максаттуу материал менен кагылышып, атомдорду же молекулаларды бутага түшүрөт. Андан кийин бул бөлүкчөлөр вакуум аркылуу өтүп, жука пленканы пайда кылып, субстраттын үстүнө түшөт.
6.Control: пленканын жоондугу жана курамы, мисалы, бутага колдонулган күч, инерттүү газдын басымы жана чачыратуу процессинин узактыгы сыяктуу параметрлерди тууралоо менен так көзөмөлдөнсө болот.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2024-жылдын 12-июлуна чейин