Оптикалык каптоочунун иштөө процесси, адатта, төмөнкү негизги кадамдарды камтыйт: алдын ала тазалоо, каптоо, пленканы көзөмөлдөө жана жөндөө, муздатуу жана алып салуу. Белгилүү процесс жабдуулардын түрүнө (мисалы, буулантуучу каптоочу, чачыраткыч каптоочу ж.б.) жана каптоо процессине (мисалы, бир катмарлуу пленка, көп катмарлуу пленка ж.б.) жараша өзгөрүшү мүмкүн, бирок жалпысынан оптикалык каптоо процесси болжол менен төмөнкүдөй:
Биринчиден, даярдоо этабы
Оптикалык компоненттерди тазалоо жана даярдоо:
Каптоодон мурун оптикалык компоненттерди (мисалы, линзалар, фильтрлер, оптикалык айнек ж.б.) кылдат тазалоо керек. Бул кадам жабуунун сапатын камсыз кылуу үчүн негиз болуп саналат. Көбүнчө колдонулган тазалоо ыкмаларына УЗИ тазалоо, пилинг, буу менен тазалоо жана башкалар кирет.
Таза оптикалык элементтер, адатта, каптоо процессинде туруктуу бойдон калышын камсыз кылуу үчүн каптоочу машинанын айлануучу түзүлүшүнө же кысуу системасына жайгаштырылат.
Вакуумдук камераны алдын ала тазалоо:
Оптикалык элементти каптоочу машинага коюудан мурун, каптоо камерасын белгилүү бир вакуумга чейин сордуруу керек. Вакуумдук чөйрө абадагы кирлерди, кычкылтекти жана суу бууларын эффективдүү түрдө жок кылып, аларды каптоочу материал менен реакцияга жол бербөө жана пленканын тазалыгын жана сапатын камсыздай алат.
Жалпысынан, каптоо камерасы жогорку вакуумга (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Па) же орточо вакуумга (10⁻³ - 10⁻⁴ Па) жетиши керек.
Экинчиден, каптоо жараяны
Баштапкы каптоо булагы:
Каптоо булагы көбүнчө буулануу булагы же чачыратуу булагы болуп саналат. Ар кандай каптоо булактары каптоо процессине жана материалына жараша тандалат.
буулануу булагы: каптоо материалы буулануу абалына чейин жылытылат, мисалы, электрондук нур бууланткычы же каршылык жылытуу бууланткычы сыяктуу жылытуу аппараттын, анын молекулалары же атомдору бууланып, оптикалык элементтин бетине вакуумда депонирленет.
Чачыратуу булагы: жогорку чыңалуу колдонуу менен, бутага иондор менен кагылышып, пленка түзүү үчүн оптикалык элементтин бетине жайгаштырылган бутанын атомдорун же молекулаларын чачыратат.
Тасма материалдарын жайгаштыруу:
Вакуумдук чөйрөдө капталган материал булактан (мисалы, буулануу булагы же максаттуу) бууланат же чачырайт жана акырындык менен оптикалык элементтин бетине түшөт.
Пленка катмарынын бир калыпта, үзгүлтүксүз болушун жана долбоорлоо талаптарына жооп беришин камсыз кылуу үчүн чөкүү ылдамдыгы жана пленканын калыңдыгы так көзөмөлгө алынышы керек. Чөктүрүүдө параметрлер (мисалы, ток, газ агымы, температура, ж.б.) пленканын сапатына түздөн-түз таасир этет.
Тасманы көзөмөлдөө жана калыңдыгын көзөмөлдөө:
Каптоо процессинде пленканын калыңдыгы жана сапаты, адатта, реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөнөт жана көбүнчө колдонулган мониторинг куралдары кварц кристаллынын микробаланс (QCM) ** жана башка сенсорлор болуп саналат, алар пленканын катмарлануу ылдамдыгын жана калыңдыгын так аныктай алат.
Мониторингдин бул маалыматтарынын негизинде система пленка катмарынын ырааттуулугун жана бирдейлигин сактоо үчүн каптоо булагынын күчү, газдын агымынын ылдамдыгы же компоненттин айлануу ылдамдыгы сыяктуу параметрлерди автоматтык түрдө тууралай алат.
Көп катмарлуу пленка (зарыл болсо):
Көп катмарлуу түзүлүштү талап кылган оптикалык компоненттер үчүн каптоо процесси, адатта, катмар-катмар менен жүргүзүлөт. Ар бир катмарды жайгаштыргандан кийин, система пленканын ар бир катмарынын сапаты дизайн талаптарына жооп беришин камсыз кылуу үчүн пленканын калыңдыгын кайталап аныктоону жана жөндөө иштерин жүргүзөт.
Бул процесс ар бир катмардын белгилүү бир толкун узундугу диапазонунда чагылуу, өткөрүү же интерференция сыяктуу функцияларды аткара алышына кепилдик берүү үчүн ар бир катмардын калыңдыгын жана материалдык түрүн так көзөмөлдөөнү талап кылат.
Үчүнчүдөн, муздатуу жана алып салуу
CD:
Каптоо аяктагандан кийин оптиканы жана каптоочу машинаны муздатуу керек. Жабдуулар жана тетиктер каптоо процессинде ысып кетиши мүмкүн болгондуктан, термикалык бузулууну болтурбоо үчүн аларды муздаткыч суу же аба агымы сыяктуу муздатуу системасы аркылуу бөлмө температурасына чейин муздатуу керек.
Кээ бир жогорку температурадагы каптоо процесстеринде муздатуу оптикалык элементти гана коргобостон, пленканын оптималдуу адгезияга жана туруктуулугуна жетишүүгө мүмкүндүк берет.
Оптикалык элементти алып салуу:
Муздатуу аяктагандан кийин оптикалык элементти каптоочу машинадан алып салууга болот.
Чыгаруудан мурун каптоо эффектин, анын ичинде пленка катмарынын бирдейлигин, пленканын калыңдыгын, адгезиясын ж.б. текшерип, жабуунун сапаты талаптарга жооп берерин текшерүү керек.
4. Пост-процессинг (милдеттүү эмес)
Тасманы катаалдаштыруу:
Кээде капталган пленканын чийилүүгө туруктуулугун жана плёнканын туруктуулугун жогорулатуу үчүн катуулаш керек. Бул, адатта, жылуулук дарылоо же ультрафиолет нурлануу сыяктуу каражаттар менен ишке ашырылат.
Кино тазалоо:
Тазалоо, ультра үн менен тазалоо ж.
5. Сапатты текшерүү жана сыноо
Оптикалык өндүрүмдүүлүк тести: Каптоо аяктагандан кийин, оптикалык компонент боюнча, анын техникалык талаптарга жооп беришин камсыз кылуу үчүн жарык өткөрүмдүүлүк, чагылтуучулук, пленканын бирдейлиги ж.б.
Адгезия тести: Тасма сынагы же тырмоо сынагы менен пленка менен субстраттын ортосундагы адгезия күчтүү же күчтүү экендигин текшериңиз.
Экологиялык туруктуулукту тестирлөө: Кээде практикалык колдонмолордо каптоо катмарынын ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн температура, нымдуулук жана ультрафиолет нуру сыяктуу экологиялык шарттарда туруктуулукту сыноону жүргүзүү зарыл.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 24-январь-2025