Кристаллдуу кремний клеткасынын технологиясын өнүктүрүү багыты ошондой эле PERT технологиясын жана Топкон технологиясын камтыйт, бул эки технология салттуу диффузиялык ыкма клетка технологиясынын уландысы катары каралат, алардын жалпы мүнөздөмөлөрү клетканын арткы тарабындагы пассивация катмары болуп саналат, жана экөө тең арткы талаа катары легирленген поли кремний катмарын колдонушат, мектеп көбүнчө жогорку температурада колдонулат, поликондун кычкылданган катмары колдонулат. жана PECVD ж.б. Түтүк PECVD жана Түтүк PECVD жана жалпак табак PECVD PERC клеткаларынын масштабдуу массалык өндүрүшүндө колдонулган.
Түтүк PECVD чоң кубаттуулукка ээ жана жалпысынан бир нече ондогон кГц төмөн жыштыктагы электр менен жабдууну кабыл алат. Иондук бомбалоо жана айланып өтүү көйгөйлөрү пассивация катмарынын сапатына таасир этиши мүмкүн. PECVD жалпак пластинасында айланып өтүү көйгөйү жок жана каптоо аткарууда көбүрөөк артыкчылыкка ээ жана Si, Si0X, SiCX пленкаларын коюу үчүн колдонулушу мүмкүн. Кемчилиги капталган пленканын курамында көп суутек бар, пленка катмарынын ыйлаакчаларын пайда кылуу оңой, каптаманын калыңдыгы чектелген. lpcvd каптоо технологиясы түтүк мешинин каптоосун колдонуу менен, чоң сыйымдуулукка ээ, калың полисиликон пленкасын салышы мүмкүн, бирок lpcvd процессинде пленка катмарынын тегерегиндеги каптоо алынып салынгандан кийин каптоо пайда болот жана төмөнкү катмарга зыян келтирбейт. Массалык өндүрүлгөн Topcon клеткалары 23% орточо конверсия эффективдүүлүгүнө жетишти.
——Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машинаГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 22-сентябрь 2023-ж