Bi pêşketina zêde ya teknolojiya pêçandina sputterê, bi taybetî teknolojiya pêçandina sputterê ya magnetronê, niha, ji bo her materyalê fîlma hedefê dikare bi bombebarana îyonan were amadekirin, ji ber ku hedef di pêvajoya pêçandina wê de li ser hin celeb substratê tê sputterkirin, kalîteya fîlma sputterkirî bandorek girîng dike, ji ber vê yekê, hewcedariyên materyalê hedefê jî hişktir in. Di hilbijartina materyalê hedefê de, ji bilî karanîna fîlmê bi xwe divê were hilbijartin, divê pirsgirêkên jêrîn jî werin hesibandin:
1. Materyalê hedef divê piştî avakirina fîlmê xwedî hêza mekanîkî ya baş û aramiya kîmyewî be.
٢. Têkeliya hedef û substratê divê xurt be, wekî din divê bi substratê ku têkeliyek baş a materyalê parzûnê heye re were girtin, pêşî fîlmek bingehîn bi sputterkirinê û dûv re qata parzûnê ya pêwîst were amadekirin.
3 wekî materyalê parzûna sputteringê ya reaksiyonê divê bi hêsanî bi gazê re reaksiyonê bike da ku pêkhateyên parzûnê çêbike; 4.
4. Li gorî pêşgotina bicîhanîna pêdiviyên performansa membranê, cudahiya di navbera katsayiya berfirehbûna germî ya materyalê hedef û substratê de bi qasî ku pêkan be piçûk e, da ku bandora stresa germî li ser membrana sputterkirî kêm bike.
Bandora stresa germî ya fîlma sputteringê; 5.
5. Li gorî pêdiviyên karanîn û performansa parzûnê, divê materyalê hedef paqijî, naveroka nepakiyê, yekrengiya pêkhateyan, rastbûna makînekirinê û pêdiviyên din ên teknîkî bicîh bîne.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 21ê Kanûna Pêşîn a 2023an