Herikîna kar a pêçkerên optîkî bi gelemperî gavên sereke yên jêrîn dihewîne: pêşdermankirin, pêçandin, çavdêrîkirin û sererastkirina fîlmê, sarkirin û rakirin. Pêvajoya taybetî dikare li gorî celebê alavan (wek pêçkera buharbûnê, pêçkera sputterkirinê, hwd.) û pêvajoya pêçandinê (wek fîlma yekqatî, fîlma pirqatî, hwd.) diguhere, lê bi gelemperî, pêvajoya pêçandina optîkî bi qasî jêrîn e:
Pêşîn, qonaxa amadekariyê
Paqijkirin û amadekirina pêkhateyên optîkî:
Berî pêçandinê, pêdivî ye ku pêkhateyên optîkî (wek lens, fîlter, cama optîkî, û hwd.) bi tevahî werin paqijkirin. Ev gav bingeha misogerkirina kalîteya pêçandinê ye. Rêbazên paqijkirinê yên ku bi gelemperî têne bikar anîn paqijkirina bi ultrason, tirşkirin, paqijkirina bi buharê û hwd. ne.
Elementên optîkî yên paqij bi gelemperî li ser cîhaza zivirî an pergala kelepçekirinê ya makîneya pêçandinê têne danîn da ku di dema pêvajoya pêçandinê de ew bikaribin sabît bimînin.
Pêş-dermankirina odeya valahiyê:
Berî danîna hêmana optîkî nav makîneya pêçandinê, pêdivî ye ku odeya pêçandinê heta astek diyarkirî ya valahiyê were pompekirin. Jîngeha valahiyê dikare bi bandor qirêjî, oksîjen û buhara avê ya di hewayê de ji holê rake, rê li ber reaksiyona wan bi materyalê pêçandinê re bigire, û paqijî û kalîteya fîlmê misoger bike.
Bi gelemperî, odeya pêçandinê pêdivî ye ku valahiyek bilind (10⁻⁵ heta 10⁻⁶ Pa) an valahiyek navîn (10⁻³ heta 10⁻⁴ Pa) bi dest bixe.
Duyemîn, pêvajoya dagirtinê
Çavkaniya pêçandina destpêkê:
Çavkaniya pêçandinê bi gelemperî çavkaniya buharbûnê an jî çavkaniya sputterkirinê ye. Li gorî pêvajoya pêçandinê û materyalê, çavkaniyên cûda yên pêçandinê dê werin hilbijartin.
Çavkaniya buharbûnê: Materyalê pêçandinê bi karanîna amûrek germkirinê, wek buharkerek tîrêjên elektronan an jî buharkerek germkirina berxwedanê, tê germ kirin heta rewşek buharbûnê, da ku molekul an atomên wê buhar bibin û di valahiyekê de li ser rûyê hêmana optîkî werin danîn.
Çavkaniya sputterkirinê: Bi sepandina voltaja bilind, hedef bi iyonan re li hev dikeve, atom an molekulên hedefê dirijîne derve, ku li ser rûyê hêmana optîkî têne danîn da ku fîlimek çêbikin.
Dabeşkirina materyalê fîlmê:
Di hawîrdorek valahiyê de, materyalê pêçayî ji çavkaniyek (wek çavkaniyek buharbûnê an hedef) buhar dibe an difire û hêdî hêdî li ser rûyê hêmana optîkî kom dibe.
Pêdivî ye ku rêjeya danîna fîlmê û qalindahiya fîlmê bi awayekî rast werin kontrol kirin da ku qata fîlmê yekreng, domdar û li gorî pêdiviyên sêwiranê be. Parametreyên di dema danîna fîlmê de (wek herikîn, herikîna gazê, germahî û hwd.) dê rasterast bandorê li kalîteya fîlmê bikin.
Çavdêrîkirin û kontrolkirina qalindahiya fîlmê:
Di pêvajoya pêçandinê de, qalindahî û kalîteya fîlmê bi gelemperî di wextê rast de tê şopandin, û amûrên çavdêriyê yên ku bi gelemperî têne bikar anîn mîkrobalansa krîstala quartz (QCM) ** û senzorên din in, ku dikarin rêjeya depokirinê û qalindahiya fîlmê bi rastî tespît bikin.
Li gorî van daneyên çavdêriyê, pergal dikare parametreyên wekî hêza çavkaniya pêçanê, rêjeya herikîna gazê an leza zivirîna pêkhateyê bixweber sererast bike da ku yekrengî û yekrengiya qata fîlmê biparêze.
Fîlmek pirqatî (eger pêwîst be):
Ji bo pêkhateyên optîkî yên ku pêdivî bi avahiyek pirqatî heye, pêvajoya pêçandinê bi gelemperî qat bi qat tê kirin. Piştî danîna her qatê, pergal dê stûriya fîlmê tespît û verastkirina dubare pêk bîne da ku piştrast bike ku kalîteya her qata fîlmê li gorî hewcedariyên sêwirandinê ye.
Ev pêvajo kontrolkirina rastîn a qalindahî û celebê materyalê her tebeqeyê hewce dike da ku piştrast bibe ku her tebeqe dikare fonksiyonên wekî refleks, veguhestin an destwerdanê di rêzek dirêjahiya pêlê ya diyarkirî de pêk bîne.
Ya sêyemîn, sar bikin û derxînin.
CD:
Piştî ku pêçandin qediya, pêdivî ye ku optîk û makîneya pêçandinê werin sar kirin. Ji ber ku alav û pêkhate dikarin di dema pêvajoya pêçandinê de germ bibin, ji bo pêşîgirtina li zirara germî, pêdivî ye ku ew bi pergala sarkirinê, wek ava sarkirinê an jî herikîna hewayê, bigihîjin germahiya odeyê.
Di hin pêvajoyên pêçandina germahiya bilind de, sarkirin ne tenê hêmana optîkî diparêze, lê di heman demê de dihêle ku fîlim zeliqandin û aramiya çêtirîn bi dest bixe.
Elementa optîkî derxînin:
Piştî ku sarbûn qediya, hêmana optîkî dikare ji makîneya pêçandinê were derxistin.
Berî derxistinê, pêdivî ye ku bandora pêçanê, tevî yekrengiya qata fîlmê, stûriya fîlmê, zeliqandin û hwd., were kontrol kirin, da ku kalîteya pêçanê li gorî hewcedariyan be.
4. Pêvajoya piştî pêvajoyê (vebijarkî)
Hişkbûna fîlmê:
Carinan pêdivî ye ku fîlma pêçayî were hişk kirin da ku berxwedana li hember xêzkirinê û domdariya fîlmê baştir bibe. Ev bi gelemperî bi rêbazên wekî dermankirina germê an tîrêjên ultraviyole tê kirin.
Paqijkirina Fîlmê:
Ji bo rakirina gemarî, rûn an qirêjiyên din ji rûyê fîlmê, dibe ku pêdivî bi paqijkirinên piçûk, wek paqijkirin, dermankirina bi ultrason û hwd. hebe.
5. Kontrol û ceribandina kalîteyê
Testa performansa optîkî: Piştî ku pêçandin qediya, rêze testên performansê li ser pêkhateya optîkî têne kirin, di nav de veguhestina ronahiyê, refleksîfbûn, yekrengiya fîlimê, û hwd., da ku piştrast bikin ku ew li gorî hewcedariyên teknîkî ye.
Testa zeliqandinê: Bi testa teypê an jî testa xêzkirinê, kontrol bikin ka zeliqandina di navbera fîlm û substratê de xurt e.
Testa aramiya jîngehê: Carinan hewce ye ku ceribandina aramiyê di bin şert û mercên jîngehê yên wekî germahî, şilbûn û ronahiya ultraviyole de were kirin da ku pêbaweriya qata pêçanê di sepanên pratîkî de were piştrast kirin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 24ê rêbendana 2025an