Arasteya pêşveçûna teknolojiya şaneyên silîkonê yên krîstalî jî teknolojiya PERT û teknolojiya Topcon dihewîne, ev her du teknolojî wekî dirêjkirina teknolojiya şaneyên rêbaza belavbûna kevneşopî têne hesibandin, taybetmendiyên wan ên hevpar çîna pasîfkirinê li pişta şaneyê ne, û her du jî çînek ji polîsîlîkona dopkirî wekî zeviya paşîn bikar tînin, dibistan bi piranî di çîna oksîdekirî ya germahiya bilind de tê bikar anîn, û çîna polîsîlîkona dopkirî di awayê LPCVD û PECVD, hwd. de tê bikar anîn. PECVD ya Tubular û PECVD ya Tubular û PECVD ya plakaya daîre di hilberîna girseyî ya mezin a şaneyên PERC de hatine bikar anîn.
PECVD ya lûleyî xwedî kapasîteyek mezin e û bi gelemperî dabînkirina hêzê ya frekanseke nizm a çend deh kHz bikar tîne. Bombebarana îyonan û pirsgirêkên plakaya derbasbûnê dikarin bandorê li kalîteya qata pasîfkirinê bikin. PECVD ya plakaya daîre pirsgirêka plakaya derbasbûnê tune ye, û di performansa pêçandinê de avantajek mezintir heye, û dikare ji bo danîna fîlmên Si, Si0X, SiCX yên dopkirî were bikar anîn. Dezavantaja wê ev e ku fîlma pêçayî gelek hîdrojenê dihewîne, bi hêsanî dibe sedema şewitîna qata fîlmê, di qalindahiya pêçandinê de sînordar e. Teknolojiya pêçandina lpcvd bi karanîna pêçandina firna lûleyê, bi kapasîteyek mezin, dikare fîlmek polîsilîkonê ya stûrtir deyne, lê dê li dora plakkirinê çêbibe, di pêvajoya lpcvd de piştî rakirina dora plakaya qata fîlmê û zirarê nade qata jêrîn. Şaneyên Topcon ên ku bi girseyî têne hilberandin bi navînî karîgeriya veguherînê ya 23% bi dest xistine.
——Ev gotar ji hêlamakîneya pêçandina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 22ê Îlonê, 2023