Amûr teknolojiya buharbûna tîrêjên elektronan bikar tîne. Elektron ji têla katodê têne derxistin û ber bi herikeke tîrêjê ya diyarkirî ve têne balkişandin, ku ji hêla potansiyela di navbera katodê û xaçerêyê de ji bo helandin û buharbûna materyalê pêçanê leztir dibe. Taybetmendiyên dendika enerjiya bilind hene û dikarin materyalê pêçanê bi xala helandinê ya ji 3000 ℃ zêdetir buhar bikin. Fîlm xwedî paqijiyek bilind û karîgeriya germî ya bilind e.
Amûr bi çavkaniya buharbûna tîrêjên elektronan, çavkaniya îyonan, pergala çavdêriya qalindahiya fîlmê, avahiya rastkirina qalindahiya fîlmê û pergala zivirîna perçeya kar a sîwanî ya stabîl ve hatî sazkirin. Bi saya pêçandina bi alîkariya çavkaniya îyonan, kompaktbûna fîlmê zêde dibe, endeksa şikestinê stabîl dibe, û diyardeya guheztina dirêjahiya pêlê ji ber şilbûnê tê asteng kirin. Pergala çavdêriya rast-dem a qalindahiya fîlmê ya bi tevahî otomatîk dikare dubarekirin û aramiya pêvajoyê misoger bike. Ew bi fonksiyona xwehelandinê ve hatî sazkirin da ku girêdayîbûna bi jêhatîbûna operator kêm bike.
Ev amûr ji bo cûrbecûr oksîd û materyalên pêçandina metalî tê sepandin, û dikare bi fîlmên optîkî yên pir-qatî yên rastbûnê, wek fîlma AR, derbasbûna pêlên dirêj, derbasbûna pêlên kurt, fîlma geşkirinê, fîlma AS / AF, IRCUT, pergala fîlma rengîn, pergala fîlma gradyan, û hwd. were pêçandin. Ew bi berfirehî di cama AR, lensên optîkî, kamerayan, lensên optîkî, fîlteran, pîşesaziyên nîvconductor û hwd. de hatiye bikar anîn.