ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಕೋಟರ್ ಎನ್ನುವುದು ತೆಳುವಾದ ಪದರಗಳನ್ನು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸುವ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕಗಳು, ಸೌರ ಕೋಶಗಳು ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಲೇಪನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಹೇಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಎಂಬುದರ ಮೂಲಭೂತ ಅವಲೋಕನ ಇಲ್ಲಿದೆ:
1. ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್: ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮೇಲೆ ಉತ್ತಮ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಅನುಮತಿಸಲು ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗೆ ನಡೆಯುತ್ತದೆ.
2. ಗುರಿ ವಸ್ತು: ಠೇವಣಿ ಇಡಬೇಕಾದ ವಸ್ತುವನ್ನು ಗುರಿ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗೆ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
3.ತಲಾಧಾರ: ತೆಳುವಾದ ಪದರವನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುವ ವಸ್ತುವೇ ತಲಾಧಾರ. ಇದನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗೆ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
4. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಉತ್ಪಾದನೆ: ಒಂದು ಜಡ ಅನಿಲ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ಕೋಣೆಯೊಳಗೆ ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗುರಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ (ಮುಕ್ತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ಗಳು ಮತ್ತು ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಥಿತಿ).
5.ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್: ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದ ಅಯಾನುಗಳು ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನೊಂದಿಗೆ ಡಿಕ್ಕಿ ಹೊಡೆದು, ಪರಮಾಣುಗಳು ಅಥವಾ ಅಣುಗಳನ್ನು ಗುರಿಯಿಂದ ಉರುಳಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಕಣಗಳು ನಂತರ ನಿರ್ವಾತದ ಮೂಲಕ ಪ್ರಯಾಣಿಸಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಂಗ್ರಹವಾಗುತ್ತವೆ, ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.
6. ನಿಯಂತ್ರಣ: ಗುರಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ಶಕ್ತಿ, ಜಡ ಅನಿಲದ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಧಿಯಂತಹ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವ ಮೂಲಕ ಚಿತ್ರದ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು.
–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜುಲೈ-12-2024