ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputtering ជាពិសេសបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត magnetron sputtering នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ សម្រាប់សម្ភារៈណាមួយអាចត្រូវបានរៀបចំដោយខ្សែភាពយន្តគោលដៅទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ដោយសារតែគោលដៅត្រូវបាន sputtered នៅក្នុងដំណើរការនៃការស្រោបវាទៅនឹងប្រភេទនៃស្រទាប់ខាងក្រោម គុណភាពនៃខ្សែភាពយន្ត sputtered មានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ ដូច្នេះតម្រូវការនៃសម្ភារៈគោលដៅគឺកាន់តែតឹងរ៉ឹង។ នៅក្នុងការជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅ បន្ថែមពីលើការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តខ្លួនឯងគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើស ក៏គួរពិចារណាលើបញ្ហាដូចខាងក្រោមៈ
1. សម្ភារៈគោលដៅគួរតែមានកម្លាំងមេកានិចល្អនិងស្ថេរភាពគីមីបន្ទាប់ពីការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត
2. ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃគោលដៅនិងស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវតែរឹងមាំ, បើមិនដូច្នេះទេគួរតែត្រូវបានយកជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោមមានការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ល្អនៃសម្ភារៈភ្នាស, ដំបូង sputtering ខ្សែភាពយន្តមូលដ្ឋានមួយហើយបន្ទាប់មកការរៀបចំនៃស្រទាប់ភ្នាសដែលត្រូវការ។
3 ជាវត្ថុធាតុភ្នាសប្រតិកម្ម ត្រូវតែងាយប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នដើម្បីបង្កើតភ្នាសសមាសធាតុ។ ៤.
4. នៅក្រោមការសន្និដ្ឋាននៃការបំពេញតាមតម្រូវការនៃការអនុវត្តភ្នាស ភាពខុសគ្នារវាងមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃសម្ភារៈគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺតូចតាមដែលអាចធ្វើបាន ដើម្បីកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅលើភ្នាសដែលបែកខ្ញែក។
ឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅនៃខ្សែភាពយន្ត sputtering; ៥.
5. យោងតាមតម្រូវការប្រើប្រាស់ និងការអនុវត្តនៃភ្នាស សម្ភារៈគោលដៅត្រូវតែបំពេញតាមភាពបរិសុទ្ធ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ ឯកសណ្ឋាននៃសមាសធាតុ ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីន និងតម្រូវការបច្ចេកទេសផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែ ធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៣