Шашыратушы жабын технологиясының, әсіресе магнетронды бүрку технологиясының өсіп келе жатқан дамуымен, қазіргі уақытта кез келген материалды иондық бомбалау нысана пленкасы арқылы дайындауға болады, себебі нысан оны субстраттың қандай да бір түріне жабу процесінде шашыранды болады, шашыратқыш пленканың сапасы маңызды әсер етеді, сондықтан мақсатты материалға қойылатын талаптар да қатаңырақ. Мақсатты материалды таңдауда, фильмнің өзін пайдаланудан басқа, келесі мәселелерді де ескеру қажет:
1. Мақсатты материал пленка пайда болғаннан кейін жақсы механикалық беріктікке және химиялық тұрақтылыққа ие болуы керек
2. Мақсатты және субстрат комбинациясы күшті болуы керек, әйтпесе субстратпен қабылдануы керек мембраналық материалдың жақсы комбинациясы бар, алдымен базалық пленканы шашыратып, содан кейін қажетті мембраналық қабатты дайындау керек.
3 реакция ретінде бүріккіш мембрана материалы қосылыстар мембранасын генерациялау үшін газбен оңай әрекеттесу керек; 4.
4. Мембраналық өнімділік талаптарын қанағаттандыру жағдайында мақсатты материал мен субстраттың термиялық кеңею коэффициенті арасындағы айырмашылық мүмкіндігінше аз болады, осылайша шашыраған мембранаға жылу кернеуінің әсерін барынша азайтады.
Шашыратушы пленканың термиялық кернеуінің әсері; 5.
5. Мембрананы пайдалану және өнімділік талаптарына сәйкес мақсатты материал тазалыққа, қоспалардың құрамына, құрамдас бөліктерінің біркелкілігіне, өңдеу дәлдігіне және басқа да техникалық талаптарға сай болуы керек.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 21 желтоқсан 2023 ж