Шашыратушы вакуумдық қаптама – материалдың жұқа қабықшаларын субстратқа салуға арналған құрылғы. Бұл процесс әдетте жартылай өткізгіштерді, күн батареяларын және оптикалық және электронды қосымшалар үшін әртүрлі жабындарды өндіруде қолданылады. Мұнда оның қалай жұмыс істейтіні туралы негізгі шолу берілген:
1.Вакуумдық камера: ластануды азайту және тұндыру процесін жақсырақ бақылауға мүмкіндік беру үшін процесс вакуумдық камераның ішінде өтеді.
2. Мақсатты материал: Шөгілетін материал мақсат ретінде белгілі. Бұл вакуумдық камераның ішіне орналастырылған.
3.Субстрат: Субстрат – жұқа қабықша төселетін материал. Ол сондай-ақ вакуумдық камераның ішіне орналастырылады.
4. Плазма генерациясы: камераға инертті газ, әдетте аргон енгізіледі. Нысанаға жоғары кернеу беріліп, плазманы (бос электрондар мен иондардан тұратын зат күйі) жасайды.
5. Шашырау: плазмадағы иондар нысана материалмен соқтығысып, атомдарды немесе молекулаларды нысанадан түсіреді. Содан кейін бұл бөлшектер вакуум арқылы өтіп, субстратқа түсіп, жұқа пленка түзеді.
6.Басқару: қабықшаның қалыңдығы мен құрамын мақсатқа қолданылатын қуат, инертті газдың қысымы және шашырату процесінің ұзақтығы сияқты параметрлерді реттеу арқылы дәл бақылауға болады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 12 шілде 2024 ж