Оптикалық жабындардың жұмыс процесі әдетте келесі негізгі қадамдарды қамтиды: алдын ала өңдеу, жабу, пленканы бақылау және реттеу, салқындату және жою. Арнайы процесс жабдық түріне (мысалы, булану қабаты, шашыратқыш қаптама және т.б.) және жабу процесіне (мысалы, бір қабатты пленка, көп қабатты пленка және т.б.) байланысты өзгеруі мүмкін, бірақ жалпы алғанда оптикалық жабын процесі шамамен келесідей:
Біріншіден, дайындық кезеңі
Оптикалық компоненттерді тазалау және дайындау:
Қаптама алдында оптикалық компоненттерді (мысалы, линзалар, сүзгілер, оптикалық шыны және т.б.) мұқият тазалау қажет. Бұл қадам жабынның сапасын қамтамасыз ету үшін негіз болып табылады. Жиі қолданылатын тазалау әдістеріне ультрадыбыстық тазалау, маринадтау, бумен тазалау және т.б.
Таза оптикалық элементтер әдетте жабу процесінде тұрақты болуын қамтамасыз ету үшін жабу машинасының айналмалы құрылғысына немесе қысқыш жүйесіне орналастырылады.
Вакуумдық камераны алдын ала өңдеу:
Оптикалық элементті қаптау машинасына қоймас бұрын, жабын камерасын вакуумның белгілі бір дәрежесіне дейін айдау керек. Вакуумдық орта ауадағы қоспаларды, оттегі мен су буларын тиімді түрде жоя алады, олардың жабын материалымен әрекеттесуіне жол бермейді және пленканың тазалығы мен сапасын қамтамасыз етеді.
Әдетте жабын камерасы жоғары вакуумға (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Па) немесе орташа вакуумға (10⁻³ - 10⁻⁴ Па) жетуі керек.
Екіншіден, жабу процесі
Бастапқы жабын көзі:
Қаптау көзі әдетте булану көзі немесе шашырау көзі болып табылады. Қаптау процесі мен материалға сәйкес әртүрлі жабын көздері таңдалады.
Булану көзі: жабын материалы электронды сәулелі буландырғыш немесе қарсылық қыздыру буландырғышы сияқты қыздыру құрылғысының көмегімен булану күйіне дейін қызады, осылайша оның молекулалары немесе атомдары буланып, оптикалық элементтің бетіне вакуумда орналасады.
Шашырату көзі: жоғары кернеуді қолдану арқылы нысана иондармен соқтығысып, қабықша түзу үшін оптикалық элементтің бетіне тұндырылған нысананың атомдарын немесе молекулаларын шашыратады.
Фильм материалының тұнбасы:
Вакуумдық ортада қапталған материал көзден (мысалы, булану көзі немесе нысана) буланады немесе шашырайды және оптикалық элементтің бетіне біртіндеп шөгеді.
Қабық қабатының біркелкі, үздіксіз және жобалық талаптарға сай болуын қамтамасыз ету үшін тұндыру жылдамдығы мен пленка қалыңдығын дәл бақылау қажет. Тұндыру кезіндегі параметрлер (мысалы, ток, газ шығыны, температура және т.б.) пленка сапасына тікелей әсер етеді.
Фильмнің қалыңдығын бақылау және бақылау:
Қаптау процесінде пленканың қалыңдығы мен сапасы әдетте нақты уақыт режимінде бақыланады және жиі қолданылатын бақылау құралдары кварц кристалды микробаланс (QCM) ** және пленканың тұндыру жылдамдығы мен қалыңдығын дәл анықтай алатын басқа сенсорлар болып табылады.
Осы бақылау деректеріне сүйене отырып, жүйе пленка қабатының консистенциясы мен біркелкілігін сақтау үшін жабын көзінің қуаты, газ ағынының жылдамдығы немесе құрамдас бөліктің айналу жылдамдығы сияқты параметрлерді автоматты түрде реттей алады.
Көп қабатты пленка (қажет болса):
Көп қабатты құрылымды қажет ететін оптикалық компоненттер үшін жабу процесі әдетте қабат-қабат жүргізіледі. Әрбір қабатты тұндырғаннан кейін жүйе пленканың әрбір қабатының сапасы дизайн талаптарына сәйкес келетініне көз жеткізу үшін пленка қалыңдығын қайталап анықтауды және реттеуді жүзеге асырады.
Бұл процесс әрбір қабаттың толқын ұзындығының белгілі бір диапазонында шағылысу, беру немесе кедергі сияқты функцияларды орындай алуын қамтамасыз ету үшін әрбір қабаттың қалыңдығы мен материал түрін дәл бақылауды қажет етеді.
Үшіншіден, салқындатыңыз және алыңыз
CD:
Қаптауды аяқтағаннан кейін оптика мен жабу машинасын салқындату керек. Жабдық пен құрамдас бөліктер қаптау процесі кезінде қызып кетуі мүмкін болғандықтан, термиялық зақымдануды болдырмау үшін салқындату суы немесе ауа ағыны сияқты салқындату жүйесі арқылы бөлме температурасына дейін салқындату керек.
Кейбір жоғары температурада жабу процестерінде салқындату оптикалық элементті қорғап қана қоймайды, сонымен қатар пленканың оңтайлы адгезиясы мен тұрақтылығына қол жеткізуге мүмкіндік береді.
Оптикалық элементті алып тастаңыз:
Салқындату аяқталғаннан кейін оптикалық элементті қаптау машинасынан алуға болады.
Шығарар алдында жабынның сапасын тексеру қажет, оның ішінде пленка қабатының біркелкілігін, пленканың қалыңдығын, адгезиясын және т.б., жабын сапасының талаптарға сәйкестігіне көз жеткізу керек.
4. Кейінгі өңдеу (міндетті емес)
Пленканың қатаюы:
Кейде пленканың сызатқа төзімділігін және беріктігін жақсарту үшін қапталған пленканы қатайту қажет. Бұл әдетте термиялық өңдеу немесе ультракүлгін сәулелену сияқты құралдармен жасалады.
Фильмді тазалау:
Пленканың бетінен ластаушы заттарды, майларды немесе басқа қоспаларды кетіру үшін тазалау, ультрадыбыстық өңдеу және т.б. сияқты шағын тазалауды орындау қажет болуы мүмкін.
5. Сапаны тексеру және сынау
Оптикалық өнімділік сынағы: Қаптау аяқталғаннан кейін оның техникалық талаптарға сәйкестігіне көз жеткізу үшін оптикалық құрамдасқа, соның ішінде жарық өткізгіштігін, шағылыстыруды, пленка біркелкілігін және т.б. өнімділік сынақтары орындалады.
Адгезия сынағы: таспа сынағы немесе сызат сынағы арқылы пленка мен субстрат арасындағы адгезияның күшті екенін тексеріңіз.
Қоршаған ортаның тұрақтылығын сынау: Кейде практикалық қолданбаларда жабын қабатының сенімділігін қамтамасыз ету үшін температура, ылғалдылық және ультракүлгін сәуле сияқты қоршаған орта жағдайында тұрақтылық сынағы жүргізу қажет.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 24 қаңтар-2025 ж