עקרון בחירת חומרי היעד וסיווג

עם ההתפתחות הגוברת של טכנולוגיית ציפוי התזה, ובמיוחד טכנולוגיית ציפוי התזה מגנטרון, כיום, ניתן להכין סרט מטרה באמצעות הפגזת יונים לכל חומר. מכיוון שהמטרה מתזה בתהליך הציפוי שלה על סוג כלשהו של מצע, לאיכות הסרט המותז יש השפעה חשובה, ולכן גם הדרישות מחמירות יותר לחומר המטרה. בבחירת חומר המטרה, בנוסף לשימוש בסרט עצמו, יש לקחת בחשבון גם את הסוגיות הבאות:

1. חומר המטרה צריך להיות בעל חוזק מכני ויציבות כימית טובים לאחר היווצרות הסרט

2. שילוב המטרה והמצע חייב להיות חזק, אחרת יש לקחת בחשבון שהמצע מכיל שילוב טוב של חומר ממברנה, תחילה יש ליישם את שכבת הבסיס ולהכין את שכבת הממברנה הנדרשת.

3. כחומר ממברנת התזה לתגובה, עליה להיות קלה להגיב עם הגז כדי ליצור תרכובות בממברנה;

4. תחת ההנחה של עמידה בדרישות ביצועי הממברנה, ההבדל בין מקדם ההתפשטות התרמית של חומר המטרה לבין המצע הוא קטן ככל האפשר, על מנת למזער את השפעת הלחץ התרמי על הממברנה המרוטשת.

השפעת הלחץ התרמי של סרט התזה; 5.

5. בהתאם לדרישות השימוש והביצועים של הממברנה, חומר המטרה חייב לעמוד בדרישות הטוהר, תכולת הטומאה, אחידות הרכיבים, דיוק העיבוד השבבי ודרישות טכניות אחרות.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה