ILapparecchiature di rivestimento sotto vuotoè composto da numerose parti precise, realizzate attraverso molteplici processi, come saldatura, rettifica, tornitura, piallatura, alesatura, fresatura e così via. A causa di queste lavorazioni, la superficie dei componenti dell'apparecchiatura sarà inevitabilmente contaminata da inquinanti come grasso, sporco oleoso, trucioli metallici, flusso di saldatura, pasta lucidante, macchie di sudore e così via. Questi inquinanti tendono a volatilizzarsi facilmente in condizioni di vuoto, compromettendo così il vuoto limite dell'apparecchiatura.
Inoltre, questi inquinanti da vuoto derivanti dalla lavorazione meccanica assorbono una grande quantità di gas nell'ambiente a pressione atmosferica e, in condizioni di vuoto, questi gas precedentemente adsorbiti vengono rilasciati nuovamente, diventando un fattore determinante nella limitazione del vuoto limite. Per questo motivo, gli inquinanti devono essere rimossi prima dell'assemblaggio dei componenti della macchina per rivestimento sotto vuoto.
Durante l'utilizzo di un'apparecchiatura per il vuoto, anche i suoi componenti possono essere contaminati. Tuttavia, l'inquinamento da questa fonte è causato principalmente dalle condizioni d'uso e dalla pompa per vuoto.
1. L'evaporazione del filamento del vacuometro in condizioni di alta temperatura porterà alla formazione di una pellicola sull'isolante ceramico, che danneggerà in una certa misura la sua resistenza isolante e avrà anche un certo impatto sulla precisione della sua misurazione;
2. A causa dell'evaporazione ad alta temperatura, si formerà una pellicola metallica sulla superficie vicino al filamento del cannone elettronico nel vuoto;
3. A causa dello sputtering del pezzo in lavorazione, la parete interna dell'apparecchiatura di incisione a fascio ionico verrà contaminata dagli schizzi;
4. La parete interna dell'apparecchiatura di rivestimento per evaporazione sotto vuoto sarà contaminata dal materiale target di evaporazione;
5. Spesso viene utilizzato il sistema di essiccazione sotto vuoto, ma il sistema verrà contaminato dalle sostanze evaporate;
6. Anche l'olio della pompa a diffusione e l'olio della pompa meccanica nelle apparecchiature di rivestimento sotto vuoto rappresentano una fonte importante di inquinamento. Dopo un lungo periodo di funzionamento della macchina di rivestimento, potrebbe formarsi una pellicola d'olio al suo interno.
In sintesi, la sanificazione sotto vuoto delle apparecchiature comprende l'apparecchiatura, il sistema di vuoto, il processo di produzione sotto vuoto e altri aspetti e collegamenti, nonché i requisiti dell'apparecchiatura di rivestimento sotto vuoto stessa e del processo di vuoto specifico in base alle condizioni d'uso. Pertanto, l'inquinamento da vuoto è un problema degno di attenzione, poiché influisce sulle prestazioni dell'apparecchiatura e deve essere sottoposto a pulizia regolare o in qualsiasi momento.
Data di pubblicazione: 21 febbraio 2023