Vakuumhúðunartæki fyrir spúttingu er tæki sem notað er til að setja þunnar efnisfilmur á undirlag. Þetta ferli er almennt notað við framleiðslu á hálfleiðurum, sólarsellum og ýmsum gerðum húðunar fyrir ljósfræðilega og rafræna notkun. Hér er grunn yfirlit yfir hvernig það virkar:
1. Lofttæmisklefi: Ferlið fer fram inni í lofttæmisklefa til að draga úr mengun og leyfa betri stjórn á útfellingarferlinu.
2. Markefni: Efnið sem á að setja niður er þekkt sem markið. Það er sett inni í lofttæmishólfinu.
3. Undirlag: Undirlagið er efnið sem þunna filman verður sett á. Það er einnig sett inni í lofttæmishólfinu.
4. Plasmamyndun: Óvirkt gas, oftast argon, er leitt inn í hólfið. Háspenna er sett á skotmarkið og myndar plasma (efnisástand sem samanstendur af frjálsum rafeindum og jónum).
5. Sprautun: Jónar úr plasmanu rekast á markefnið og slá atóm eða sameindir af markinu. Þessar agnir ferðast síðan í gegnum lofttæmið og setjast á undirlagið og mynda þunna filmu.
6. Stjórnun: Þykkt og samsetningu filmunnar er hægt að stjórna nákvæmlega með því að stilla breytur eins og aflið sem beitt er á skotmarkið, þrýsting óvirka gassins og lengd spúttunarferlisins.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 12. júlí 2024