Vinnuflæði ljóshúðunartækja felur venjulega í sér eftirfarandi meginskref: formeðferð, húðun, eftirlit og aðlögun filmu, kælingu og fjarlægingu. Sérstakt ferli getur verið mismunandi eftir gerð búnaðar (eins og uppgufunarhúðunartæki, spúttunarhúðunartæki o.s.frv.) og húðunarferli (eins og einlagsfilma, fjöllagsfilma o.s.frv.), en almennt séð er ferlið við ljóshúðun nokkurn veginn sem hér segir:
Fyrst, undirbúningsstigið
Þrif og undirbúningur á ljósleiðaraíhlutum:
Áður en húðun fer fram þarf að þrífa sjóntækjahluti (eins og linsur, síur, gler o.s.frv.) vandlega. Þetta skref er grundvöllur þess að tryggja gæði húðunarinnar. Algengar hreinsunaraðferðir eru meðal annars ómskoðunarhreinsun, súrsun, gufuhreinsun og svo framvegis.
Hreinu ljósleiðararnir eru venjulega settir á snúningsbúnað eða klemmukerfi húðunarvélarinnar til að tryggja að þeir haldist stöðugir meðan á húðunarferlinu stendur.
Forvinnsla á lofttæmishólfi:
Áður en ljósleiðarinn er settur í húðunarvélina þarf að dæla húðunarklefanum upp í ákveðið lofttæmi. Lofttæmisumhverfið getur á áhrifaríkan hátt fjarlægt óhreinindi, súrefni og vatnsgufu úr loftinu, komið í veg fyrir að þau hvarfast við húðunarefnið og tryggt hreinleika og gæði filmunnar.
Almennt þarf húðunarhólfið að ná háu lofttæmi (10⁻⁵ til 10⁻⁶ Pa) eða meðalstóru lofttæmi (10⁻³ til 10⁻⁴ Pa).
Í öðru lagi, húðunarferlið
Upphafshúðunargjafi:
Húðunargjafinn er venjulega uppgufunargjafi eða spúttunargjafi. Mismunandi húðunargjafar verða valdar eftir húðunarferli og efni.
Uppgufunargjafi: Húðunarefnið er hitað í uppgufunarástand með því að nota hitunarbúnað, svo sem rafeindageislauppgufunartæki eða viðnámshitunartæki, þannig að sameindir þess eða atóm gufa upp og setjast á yfirborð ljósleiðarans í lofttæmi.
Sprautunargjafi: Með því að beita háspennu rekst skotmarkið á jónir, sem sprautar út atómum eða sameindum skotmarksins, sem setjast á yfirborð ljósleiðarans og mynda filmu.
Útfelling filmuefnis:
Í lofttæmisumhverfi gufar húðaða efnið upp eða spúttar frá upptökum (eins og uppgufunargjafa eða skotmarki) og sest smám saman niður á yfirborð ljósleiðarans.
Útfellingarhraða og þykkt filmunnar þarf að vera nákvæmlega stjórnað til að tryggja að filmulagið sé einsleitt, samfellt og uppfylli hönnunarkröfur. Breytur við útfellingu (eins og straumur, gasflæði, hitastig o.s.frv.) munu hafa bein áhrif á gæði filmunnar.
Eftirlit með filmu og þykktarstýring:
Í húðunarferlinu er þykkt og gæði filmunnar venjulega fylgst með í rauntíma og algengustu eftirlitstækin eru kvarskristallsörvog (QCM) og aðrir skynjarar sem geta greint nákvæmlega útfellingarhraða og þykkt filmunnar.
Byggt á þessum eftirlitsgögnum getur kerfið sjálfkrafa aðlagað breytur eins og afl húðunargjafans, gasflæði eða snúningshraða íhlutsins til að viðhalda samræmi og einsleitni filmulagsins.
Fjöllaga filma (ef þörf krefur):
Fyrir ljósfræðilega íhluti sem krefjast marglaga uppbyggingar er húðunarferlið venjulega framkvæmt lag fyrir lag. Eftir að hvert lag hefur verið sett á mun kerfið framkvæma endurtekna filmuþykktarmælingu og aðlögun til að tryggja að gæði hvers filmulags uppfylli hönnunarkröfur.
Þetta ferli krefst nákvæmrar stjórnunar á þykkt og efnisgerð hvers lags til að tryggja að hvert lag geti sinnt aðgerðum eins og endurspeglun, gegndræpi eða truflunum á tilteknu bylgjulengdarbili.
Í þriðja lagi, kælið og fjarlægið
Geisladiskur:
Eftir að húðuninni er lokið þarf að kæla ljósleiðarana og húðunarvélina. Þar sem búnaður og íhlutir geta hitnað við húðunarferlið þarf að kæla þá niður í stofuhita með kælikerfi, svo sem kælivatni eða loftstreymi, til að koma í veg fyrir hitaskemmdir.
Í sumum háhita húðunarferlum verndar kæling ekki aðeins ljósleiðarann heldur gerir hún filmunni einnig kleift að ná sem bestum viðloðun og stöðugleika.
Fjarlægðu ljósleiðarann:
Eftir að kæling er lokið er hægt að fjarlægja ljósleiðarann úr húðunarvélinni.
Áður en filmuhúðun er tekin út er nauðsynlegt að athuga húðunaráhrifin, þar á meðal einsleitni filmulagsins, þykkt filmu, viðloðun o.s.frv., til að tryggja að gæði húðunarinnar uppfylli kröfur.
4. Eftirvinnsla (valfrjálst)
Herðing filmu:
Stundum þarf að herða húðaða filmuna til að bæta rispuþol og endingu filmunnar. Þetta er venjulega gert með aðferðum eins og hitameðferð eða útfjólubláum geislum.
Hreinsun filmu:
Til að fjarlægja mengunarefni, olíur eða önnur óhreinindi af yfirborði filmunnar gæti verið nauðsynlegt að framkvæma minniháttar þrif, svo sem þrif, ómskoðunarmeðferð o.s.frv.
5. Gæðaeftirlit og prófanir
Prófun á ljósfræðilegri afköstum: Eftir að húðun er lokið eru framkvæmdar nokkrar afköstaprófanir á ljósfræðilega íhlutnum, þar á meðal ljósleiðni, endurskinshæfni, einsleitni filmu o.s.frv., til að tryggja að hann uppfylli tæknilegar kröfur.
Viðloðunarpróf: Með límbandsprófi eða rispuprófi skal athuga hvort viðloðun filmunnar og undirlagsins sé sterk.
Prófun á umhverfisstöðugleika: Stundum er nauðsynlegt að framkvæma stöðugleikaprófanir við umhverfisaðstæður eins og hitastig, rakastig og útfjólublátt ljós til að tryggja áreiðanleika húðunarlagsins í hagnýtum tilgangi.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 24. janúar 2025