Peralatan ini mengadopsi teknologi penguapan berkas elektron. Elektron dipancarkan dari filamen katode dan difokuskan ke arus berkas tertentu, yang dipercepat oleh potensi antara katode dan wadah untuk melelehkan dan menguapkan bahan pelapis. Peralatan ini memiliki karakteristik kepadatan energi tinggi dan dapat menguapkan bahan pelapis dengan titik leleh lebih dari 3000 ℃. Film ini memiliki kemurnian tinggi dan efisiensi termal tinggi.
Peralatan ini dilengkapi dengan sumber penguapan berkas elektron, sumber ion, sistem pemantauan ketebalan film, struktur koreksi ketebalan film, dan sistem rotasi benda kerja payung yang stabil. Melalui pelapisan yang dibantu sumber ion, kekompakan film meningkat, indeks bias distabilkan, dan fenomena pergeseran panjang gelombang akibat kelembapan dapat dihindari. Sistem pemantauan ketebalan film secara real-time yang sepenuhnya otomatis dapat memastikan pengulangan dan stabilitas proses. Dilengkapi dengan fungsi self melting untuk mengurangi ketergantungan pada keterampilan operator.
Peralatan ini dapat diaplikasikan pada berbagai oksida dan material pelapis logam, dan dapat dilapisi dengan film optik presisi multi-lapis, seperti film AR, lintasan gelombang panjang, lintasan gelombang pendek, film pencerah, film AS/AF, IRCUT, sistem film berwarna, sistem film gradien, dsb. Telah banyak digunakan dalam kacamata AR, lensa optik, kamera, lensa optik, filter, industri semikonduktor, dsb.