A porlasztásos bevonatolási technológia, különösen a magnetronos porlasztásos bevonatolási technológia egyre növekvő fejlődésével jelenleg bármilyen anyag előállítható ionbombázásos célfilmmel. Mivel a célfilmet valamilyen hordozóra történő bevonatolás során porlasztják, a porlasztott film minősége fontos hatással van, ezért a célfilm anyagával szembeni követelmények is szigorúbbak. A célfilm anyagának kiválasztásakor a film felhasználása mellett a következő szempontokat is figyelembe kell venni:
1. A célanyagnak a film kialakulása után jó mechanikai szilárdsággal és kémiai stabilitással kell rendelkeznie
2. A cél- és hordozóanyag-kombinációnak erősnek kell lennie, ellenkező esetben a hordozóanyaggal jó membránanyag-kombinációt kell alkalmazni, először egy alapfóliát kell porlasztani, majd elő kell készíteni a szükséges membránréteget.
3. Reakciós porlasztásos membránanyagként könnyen kell reagálnia a gázzal, hogy vegyületeket képezzen a membránban; 4.
4. A membrán teljesítménykövetelményeinek teljesítése érdekében a célanyag és az aljzat hőtágulási együtthatója közötti különbség a lehető legkisebb, hogy minimalizálja a hőfeszültség hatását a porlasztott membránra.
A porlasztásos film hőfeszültségének hatása; 5.
5. A membrán felhasználási és teljesítménykövetelményei szerint a célanyagnak meg kell felelnie a tisztaságnak, a szennyeződés-tartalomnak, az alkatrészek egyenletességének, a megmunkálási pontosságnak és egyéb műszaki követelményeknek.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. dec. 21.