A porlasztásos vákuumbevonó egy olyan eszköz, amelyet vékony anyagrétegek hordozóra történő felvitelére használnak. Ezt az eljárást általában félvezetők, napelemek és különféle optikai és elektronikai alkalmazásokhoz használt bevonatok gyártásánál használják. Íme egy alapvető áttekintés a működéséről:
1. Vákuumkamra: A folyamat egy vákuumkamrában zajlik, hogy csökkentse a szennyeződést és jobban szabályozza a lerakódási folyamatot.
2. Célanyag: A lerakandó anyagot célanyagnak nevezik. Ezt a vákuumkamrába helyezik.
3. Hordozóanyag: A hordozóanyag az az anyag, amelyre a vékony filmet felviszik. Ezt szintén a vákuumkamrába helyezik.
4. Plazmagenerálás: Inert gázt, jellemzően argont vezetnek a kamrába. Nagyfeszültséget alkalmaznak a céltárgyon, ami plazmát (szabad elektronokból és ionokból álló halmazállapotot) hoz létre.
5. Porlasztás: A plazmából származó ionok ütköznek a célanyaggal, atomokat vagy molekulákat lepattanva a célról. Ezek a részecskék ezután áthaladnak a vákuumon, és lerakódnak az aljzatra, vékony filmet képezve.
6. Szabályozás: A film vastagsága és összetétele pontosan szabályozható olyan paraméterek beállításával, mint a célpontra alkalmazott teljesítmény, az inert gáz nyomása és a porlasztási folyamat időtartama.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. július 12.