Az optikai bevonatolók munkafolyamata általában a következő fő lépéseket foglalja magában: előkezelés, bevonás, filmfigyelés és -beállítás, hűtés és eltávolítás. A konkrét folyamat a berendezés típusától (például párologtató bevonatoló, porlasztó bevonatoló stb.) és a bevonási eljárástól (például egyrétegű film, többrétegű film stb.) függően változhat, de általánosságban az optikai bevonatolás folyamata nagyjából a következő:
Először is, az előkészítés szakasza
Optikai alkatrészek tisztítása és előkészítése:
Bevonás előtt az optikai alkatrészeket (például lencséket, szűrőket, optikai üveget stb.) alaposan meg kell tisztítani. Ez a lépés az alapja a bevonat minőségének biztosításának. A gyakran használt tisztítási módszerek közé tartozik az ultrahangos tisztítás, a pácolás, a gőztisztítás stb.
A tiszta optikai elemeket általában a bevonatoló gép forgó eszközére vagy rögzítőrendszerére helyezik, hogy a bevonási folyamat során stabilak maradjanak.
Vákuumkamra előkezelése:
Mielőtt az optikai elemet a bevonógépbe helyeznénk, a bevonókamrát bizonyos fokú vákuum alá kell pumpálni. A vákuumkörnyezet hatékonyan eltávolítja a levegőben lévő szennyeződéseket, oxigént és vízgőzt, megakadályozza, hogy ezek reakcióba lépjenek a bevonóanyaggal, és biztosítja a film tisztaságát és minőségét.
A bevonókamrában általában nagy vákuumot (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Pa) vagy közepes vákuumot (10⁻³ - 10⁻⁴ Pa) kell elérni.
Másodszor, a bevonási folyamat
Kiindulási bevonat forrása:
A bevonat forrása általában párolgási forrás vagy porlasztási forrás. A különböző bevonat forrásokat a bevonási eljárás és az anyag szerint választják ki.
Párolgási forrás: A bevonóanyagot egy fűtőberendezés, például elektronnyalábos bepárló vagy ellenállásfűtéses bepárló segítségével párologtató állapotba melegítik, így molekulái vagy atomjai elpárolognak, és vákuumban lerakódnak az optikai elem felületére.
Porlasztási forrás: Nagyfeszültség alkalmazásával a céltárgy ionokkal ütközik, kiporlasztva a céltárgy atomjait vagy molekuláit, amelyek az optikai elem felületére rakódnak le, filmet képezve.
Filmanyag lerakódása:
Vákuumkörnyezetben a bevont anyag elpárolog vagy szétszóródik egy forrásból (például egy párolgási forrásból vagy céltárgyból), és fokozatosan lerakódik az optikai elem felületére.
A lerakódási sebességet és a filmvastagságot pontosan szabályozni kell annak érdekében, hogy a filmréteg egyenletes, folytonos és megfeleljen a tervezési követelményeknek. A lerakódás során fellépő paraméterek (például áramerősség, gázáramlás, hőmérséklet stb.) közvetlenül befolyásolják a film minőségét.
Fóliafigyelés és vastagságszabályozás:
A bevonási folyamat során a film vastagságát és minőségét általában valós időben figyelik, és a gyakran használt ellenőrző eszközök a kvarckristályos mikromérleg (QCM) ** és más érzékelők, amelyek pontosan képesek érzékelni a film lerakódási sebességét és vastagságát.
Ezen monitorozási adatok alapján a rendszer automatikusan beállíthatja az olyan paramétereket, mint a bevonatforrás teljesítménye, a gázáramlási sebesség vagy az alkatrész forgási sebessége, hogy fenntartsa a filmréteg konzisztenciáját és egyenletességét.
Többrétegű fólia (ha szükséges):
Többrétegű szerkezetet igénylő optikai alkatrészek esetében a bevonási folyamatot általában rétegről rétegre végzik. Minden egyes réteg lerakása után a rendszer ismételten méri és állítja be a filmvastagságot, hogy biztosítsa, hogy az egyes filmrétegek minősége megfeleljen a tervezési követelményeknek.
Ez a folyamat megköveteli az egyes rétegek vastagságának és anyagtípusának pontos szabályozását annak biztosítása érdekében, hogy minden réteg olyan funkciókat tudjon ellátni, mint a visszaverődés, az átvitel vagy az interferencia egy adott hullámhossztartományban.
Harmadszor, hűtsük le és vegyük ki
CD:
A bevonat felvitele után az optikát és a bevonógépet le kell hűteni. Mivel a berendezések és az alkatrészek a bevonási folyamat során felforrósodhatnak, ezért a hőkárosodás elkerülése érdekében hűtőrendszerrel, például hűtővízzel vagy légárammal kell szobahőmérsékletre hűteni őket.
Néhány magas hőmérsékletű bevonási eljárásban a hűtés nemcsak az optikai elemet védi, hanem lehetővé teszi a film optimális tapadás és stabilitásának elérését is.
Az optikai elem eltávolítása:
A hűtés befejezése után az optikai elem eltávolítható a bevonatoló gépből.
Kivétel előtt ellenőrizni kell a bevonat hatását, beleértve a filmréteg egyenletességét, a filmvastagságot, a tapadást stb., hogy a bevonat minősége megfeleljen a követelményeknek.
4. Utófeldolgozás (opcionális)
Filmkeményedés:
A bevonatos fóliát néha keményíteni kell a karcállóság és a tartósság javítása érdekében. Ezt általában hőkezeléssel vagy ultraibolya sugárzással teszik.
Fóliatisztítás:
A fólia felületéről a szennyeződések, olajok vagy egyéb szennyeződések eltávolításához szükség lehet kisebb tisztításra, például simításra, ultrahangos kezelésre stb.
5. Minőségellenőrzés és -vizsgálat
Optikai teljesítményteszt: A bevonat elkészülte után az optikai alkatrészen egy sor teljesítménytesztet végeznek, beleértve a fényáteresztést, a fényvisszaverődést, a film egyenletességét stb., hogy biztosítsák a műszaki követelményeknek való megfelelést.
Tapadásvizsgálat: Ragasztási vagy karcolási teszttel ellenőrizze, hogy a fólia és az aljzat közötti tapadás erős-e.
Környezeti stabilitási vizsgálat: Néha stabilitási vizsgálatot kell végezni olyan környezeti feltételek mellett, mint a hőmérséklet, páratartalom és ultraibolya fény, hogy biztosítsuk a bevonatréteg megbízhatóságát a gyakorlati alkalmazásokban.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2025. január 24.