Yon machin pou depoze kouch vakyòm pa pulverizasyon se yon aparèy yo itilize pou depoze fim materyèl mens sou yon substra. Pwosesis sa a souvan itilize nan pwodiksyon semi-kondiktè, selil solè, ak divès kalite kouch pou aplikasyon optik ak elektwonik. Men yon apèsi debaz sou kijan li fonksyone:
1. Chanm Vakyòm: Pwosesis la pran plas andedan yon chanm vakyòm pou diminye kontaminasyon epi pèmèt pi bon kontwòl sou pwosesis depo a.
2. Materyèl sib: Materyèl ki pral depoze a rele sib la. Yo mete l andedan chanm vid la.
3. Sibstra: Sibstra a se materyèl kote yo pral depoze fim mens lan. Yo mete l tou andedan chanm vakyòm nan.
4. Jenerasyon Plasma: Yo entwodui yon gaz inaktif, tipikman agon, nan chanm lan. Yo aplike yon vòltaj ki wo sou sib la, sa kreye yon plasma (yon eta matyè ki gen elektwon ak iyon lib).
5. Pulverizasyon: Iyon ki soti nan plasma a fè kolizyon ak materyèl sib la, sa ki fè atòm oswa molekil yo soti sou sib la. Patikil sa yo vwayaje nan vid la epi depoze sou substra a, pou fòme yon fim mens.
6.Kontwòl: Epesè ak konpozisyon fim nan ka kontwole avèk presizyon lè w ajiste paramèt tankou pouvwa ki aplike sou sib la, presyon gaz inaktif la, ak dire pwosesis pulverizasyon an.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Lè piblikasyon an: 12 Jiyè 2024