Direksyon devlopman teknoloji selil silikon kristalin an gen ladan tou teknoloji PERT ak teknoloji Topcon. De teknoloji sa yo konsidere kòm yon ekstansyon teknoloji selil metòd difizyon tradisyonèl la. Karakteristik komen yo se yon kouch pasivasyon sou bò dèyè selil la. Toulede itilize yon kouch polisilikon dope kòm chan dèyè a. Kouch lekòl la sitou itilize nan kouch oksidasyon tanperati ki wo, epi kouch polisilikon dope a itilize nan fason LPCVD ak PECVD, elatriye. PECVD tib ak PECVD tib ak PECVD plat yo te itilize nan pwodiksyon an mas sou gwo echèl selil PERC yo.
PECVD tibèkiloz la gen yon gwo kapasite epi jeneralman li itilize yon ekipman pou pouvwa ki ba-frekans plizyè dizèn kHz. Pwoblèm bonbadman iyon ak pwoblèm plakaj kontoune ka afekte kalite kouch pasivasyon an. PECVD plat la pa gen pwoblèm plakaj kontoune, epi li gen yon pi gwo avantaj nan pèfòmans kouch la, epi li ka itilize pou depoze fim Si, Si0X, SiCX dope. Dezavantaj la se ke fim plake a gen anpil idwojèn, sa ki fasil pou lakòz anpoul sou kouch fim nan, epi epesè kouch la limite. Teknoloji kouch lpcvd ki itilize kouch founo tib, ak yon gwo kapasite, ka depoze yon fim polisilikon ki pi epè, men pral gen yon alantou plakaj la ki fèt nan pwosesis lpcvd la, apre yo fin retire alantou plakaj la nan kouch fim nan epi li pa domaje kouch ki anba a. Selil Topcon ki pwodui an mas yo te reyalize yon efikasite konvèsyon mwayèn de 23%.
—— Atik sa a pibliye pamachin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 22 septanm 2023