Oprema koristi tehnologiju isparavanja elektronskim snopom. Elektroni se emitiraju iz katodne niti i fokusiraju u određenu struju snopa, koja se ubrzava potencijalom između katode i lončića kako bi se materijal premaza otopio i ispario. Ima karakteristike visoke gustoće energije i može ispariti materijal premaza s talištem većim od 3000 ℃. Film ima visoku čistoću i visoku toplinsku učinkovitost.
Oprema je opremljena izvorom isparavanja elektronskim snopom, ionskim izvorom, sustavom za praćenje debljine filma, strukturom za korekciju debljine filma i stabilnim sustavom rotacije obratka "kišobran". Nanošenjem premaza uz pomoć ionskog izvora povećava se kompaktnost filma, stabilizira se indeks loma i izbjegava se fenomen pomaka valne duljine zbog vlage. Potpuno automatski sustav za praćenje debljine filma u stvarnom vremenu može osigurati ponovljivost i stabilnost procesa. Opremljen je funkcijom samotaljenja kako bi se smanjila ovisnost o vještinama operatera.
Oprema se može premazati različitim oksidima i metalnim premaznim materijalima te se može premazati višeslojnim preciznim optičkim filmovima, kao što su AR film, dugovalni prolaz, kratkovalni prolaz, posvjetljujući film, AS/AF film, IRCUT, sustav boja, sustav gradijentnih filmova itd. Široko se koristi u AR naočalama, optičkim lećama, kamerama, optičkim lećama, filterima, poluvodičkoj industriji itd.