स्पटरिंग वैक्यूम कोटर एक ऐसा उपकरण है जिसका उपयोग सब्सट्रेट पर सामग्री की पतली फिल्म जमा करने के लिए किया जाता है। इस प्रक्रिया का उपयोग आमतौर पर अर्धचालकों, सौर कोशिकाओं और ऑप्टिकल और इलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोगों के लिए विभिन्न प्रकार की कोटिंग्स के उत्पादन में किया जाता है। यहाँ इस बात का एक बुनियादी अवलोकन दिया गया है कि यह कैसे काम करता है:
1.वैक्यूम चैम्बर: यह प्रक्रिया संदूषण को कम करने और निक्षेपण प्रक्रिया पर बेहतर नियंत्रण के लिए वैक्यूम चैम्बर के अंदर होती है।
2.लक्ष्य सामग्री: जमा की जाने वाली सामग्री को लक्ष्य कहा जाता है। इसे वैक्यूम चैम्बर के अंदर रखा जाता है।
3. सब्सट्रेट: सब्सट्रेट वह पदार्थ है जिस पर पतली फिल्म जमा की जाएगी। इसे वैक्यूम चैंबर के अंदर भी रखा जाता है।
4.प्लाज्मा निर्माण: एक निष्क्रिय गैस, आम तौर पर आर्गन, को कक्ष में डाला जाता है। लक्ष्य पर एक उच्च वोल्टेज लगाया जाता है, जिससे प्लाज्मा (मुक्त इलेक्ट्रॉनों और आयनों से युक्त पदार्थ की एक अवस्था) बनता है।
5. स्पटरिंग: प्लाज्मा से आयन लक्ष्य सामग्री से टकराते हैं, जिससे लक्ष्य से परमाणु या अणु गिर जाते हैं। ये कण फिर वैक्यूम से होकर गुजरते हैं और सब्सट्रेट पर जमा होकर एक पतली फिल्म बनाते हैं।
6. नियंत्रण: फिल्म की मोटाई और संरचना को लक्ष्य पर लागू शक्ति, निष्क्रिय गैस का दबाव और स्पटरिंग प्रक्रिया की अवधि जैसे मापदंडों को समायोजित करके सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: जुलाई-12-2024