He mea hoʻohana ʻia e waiho i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi ma luna o kahi substrate. Hoʻohana pinepine ʻia kēia kaʻina hana i ka hana ʻana i nā semiconductor, solar cell, a me nā ʻano like ʻole o ka uhi no nā noi optical a me ka uila. Eia kahi hiʻohiʻona kumu o ka hana ʻana:
1.Vacuum Chamber: Hana ʻia ke kaʻina hana i loko o kahi keʻena ʻeleʻele e hōʻemi i ka hoʻohaumia a ʻae i ka mana maikaʻi ma luna o ke kaʻina deposition.
2.Target Material: ʻO ka mea e waiho ʻia e ʻike ʻia ʻo ka pahuhopu. Hoʻokomo ʻia kēia i loko o ke keʻena vacuum.
3.Substrate: ʻO ka substrate ka mea e waiho ai ke kiʻi lahilahi. Hoʻokomo pū ʻia i loko o ke keʻena vacuum.
4.Plasma Generation: Hoʻokomo ʻia kahi kinoea inert, maʻamau argon, i loko o ke keʻena. Hoʻohana ʻia kahi volta kiʻekiʻe i ka pahuhopu, e hana ana i kahi plasma (kahi kūlana o ka mea i loaʻa i nā electrons manuahi a me nā ion).
5. Sputtering: Hoʻokuʻi ʻia nā Ion mai ka plasma me ka mea i hoʻopaʻa ʻia, e kīkēkē ana i nā ʻātoma a i ʻole nā molekole mai ka pahuhopu. Hele kēia mau ʻāpana i loko o ka ʻōpala a waiho ma luna o ka substrate, e hana ana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi.
6.Control: Hiki ke hoʻomalu ponoʻia ka mānoanoa a me ka haku mele ma ka hoʻololiʻana i nā palena e like me ka mana i hoʻohanaʻia i ka pahu hopu, ke kaomi o ke kinoea inert, a me ka lōʻihi o ke kaʻina hana sputtering.
-Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini hoʻopaʻa haʻahaʻaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Iulai-12-2024