O equipo de revestimento ao baleiro adoita estar composto por varios compoñentes clave, cada un coa súa propia función específica, que traballan en conxunto para lograr unha deposición de película eficiente e uniforme. A continuación, móstrase unha descrición dos compoñentes principais e as súas funcións:
Compoñentes principais
Cámara de baleiro:
Función: Proporciona un ambiente de baixa presión ou alto baleiro para evitar que o material de revestimento reaccione coas impurezas transportadas polo aire durante a evaporación ou a pulverización catódica, garantindo a pureza e a calidade da película.
Estrutura: Normalmente feita de aceiro inoxidable ou aluminio de alta resistencia, o deseño interno ten en conta a distribución do fluxo de aire e a facilidade de colocación do substrato.
Sistema de bomba de baleiro:
Función: Úsase para bombear o gas do interior da cámara de baleiro para alcanzar o nivel de baleiro requirido.
Tipos: Inclúen bombas mecánicas (por exemplo, bombas rotatorias de paletas), bombas turbomoleculares, bombas de difusión e bombas de ións.
Fonte de evaporación ou fonte de pulverización catódica:
Función: quenta e evapora o material de revestimento para formar vapor ou plasma no baleiro.
Tipos: incluíndo fonte de quentamento por resistencia, fonte de evaporación por feixe de electróns, fonte de pulverización catódica con magnetrón e fonte de evaporación por láser, etc.
Soporte do substrato e mecanismo de rotación:
Función: Suxeita o substrato e garante a deposición uniforme do material de revestimento na superficie do substrato mediante rotación ou oscilación.
CONSTRUCIÓN: Normalmente inclúe abrazaderas axustables e mecanismos rotatorios/oscilantes para adaptarse a substratos de diferentes formas e tamaños.
Sistema de alimentación e control:
Función: Proporciona enerxía á fonte de evaporación, á fonte de pulverización catódica e a outros equipos, e controla os parámetros do proceso de revestimento en xeral, como a temperatura, o baleiro e o tempo.
Compoñentes: Inclúe fontes de alimentación, paneis de control, sistemas de control computerizados e sensores de monitorización.
Sistema de subministración de gas (para equipos de revestimento por pulverización catódica):
Función: Subministra gases inertes (por exemplo, argón) ou gases reactivos (por exemplo, osíxeno, nitróxeno) para manter un plasma ou para participar nunha reacción química para xerar unha película delgada específica.
Compoñentes: Inclúe cilindros de gas, controladores de fluxo e tubaxes de subministración de gas.
Sistema de refrixeración:
Función: arrefría a fonte de evaporación, a fonte de pulverización catódica e a cámara de baleiro para evitar o sobrequecemento.
Tipos: inclúen sistemas de refrixeración por auga e sistemas de refrixeración por aire, etc.
Sistema de monitorización e detección:
Función: Monitorización en tempo real de parámetros clave no proceso de revestimento, como o grosor da película, a velocidade de deposición, o baleiro e a temperatura, para garantir a calidade do revestimento.
Tipos: incluíndo microbalanza de cristal de cuarzo, monitor de espesor óptico e analizador de gas residual, etc.
Dispositivos de protección:
Función: Garante a seguridade dos operadores e dos equipos fronte aos perigos causados por altas temperaturas, altas tensións ou ambientes de baleiro.
Compoñentes: Inclúe proteccións, botóns de parada de emerxencia e bloqueos de seguridade, etc.
Resumir.
Os equipos de revestimento ao baleiro realizan o proceso de deposición de películas delgadas de alta calidade mediante o traballo sinérxico destes compoñentes. Estas máquinas desempeñan un papel vital na preparación de películas delgadas ópticas, electrónicas, decorativas e funcionais.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 23 de xullo de 2024