Le leasachadh a tha a’ sìor fhàs ann an teicneòlas còmhdach sputtering, gu h-àraidh teicneòlas còmhdach sputtering magnetron, an-dràsta, faodar film targaid bomadh ian ullachadh airson stuth sam bith, leis gu bheil an targaid air a sputteradh sa phròiseas còmhdachaidh ri seòrsa de shubstrait, tha buaidh mhòr aig càileachd an fhilm sputtered, agus mar sin, tha riatanasan an stuth targaid a’ sìor fhàs nas cruaidhe cuideachd. Nuair a thathar a’ taghadh stuth targaid, a bharrachd air cleachdadh an fhilm fhèin, bu chòir beachdachadh air na cùisean a leanas cuideachd:
1. Bu chòir neart meacanaigeach math agus seasmhachd cheimigeach a bhith aig an stuth targaid às dèidh cruthachadh an fhilm
2. Feumaidh measgachadh làidir a bhith eadar an targaid agus an t-substrate, air neo bu chòir measgachadh math de stuth membran a ghabhail leis an t-substrate, an toiseach film bunaiteach a sputteradh agus an uairsin an sreath membran a tha a dhìth ullachadh.
3 mar thoradh air an sin, feumaidh stuth membran sputtering a bhith furasta ath-bhualadh leis a’ ghas gus todhar membran a chruthachadh; 4.
4. Fo bhun-bheachd coinneachadh ri riatanasan coileanadh membran, tha an diofar eadar co-èifeachd leudachaidh teirmeach an stuth targaid agus an t-substrate cho beag 's as urrainn, gus buaidh cuideam teirmeach air a' membran sputtered a lughdachadh.
Buaidh cuideam teirmeach film sputtering; 5.
5. A rèir riatanasan cleachdaidh is coileanaidh a’ mheambrainn, feumaidh an stuth targaid coinneachadh ris na riatanasan teicnigeach a thaobh purrachd, susbaint neo-ghlainead, cunbhalachd phàirtean, cruinneas innealachaidh agus riatanasan teicnigeach eile.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 21 Dùbhlachd 2023