'S e inneal a th' ann an còta falamh sputtering a thathar a' cleachdadh gus filmichean tana de stuth a thasgadh air fo-strat. Bithear a' cleachdadh a' phròiseis seo gu cumanta ann an cinneasachadh leth-sheoladairean, ceallan grèine, agus diofar sheòrsaichean chòtaichean airson tagraidhean optigeach agus dealanach. Seo geàrr-chunntas bunaiteach air mar a tha e ag obair:
1. Seòmar Falamh: Bidh am pròiseas a’ gabhail àite taobh a-staigh seòmar falamh gus truailleadh a lùghdachadh agus gus smachd nas fheàrr a chumail air a’ phròiseas tasgaidh.
2. Stuth Targaid: Canar an targaid ris an stuth a thèid a thasgadh. Tha seo air a chur taobh a-staigh seòmar falamh.
3. Bun-stuth: ’S e am bun-stuth an stuth air an tèid am film tana a thasgadh. Tha e cuideachd air a chur taobh a-staigh seòmar falamh.
4. Gineadh Plasma: Thèid gas neo-ghnìomhach, mar as trice argon, a thoirt a-steach don t-seòmar. Thèid bholtadh àrd a chur air an targaid, a’ cruthachadh plasma (staid stuth anns a bheil dealanan agus ianan saora).
5. Spùtadh: Bidh ianan bhon phlasma a’ bualadh ris an stuth targaid, a’ bualadh dadaman no moileciuilean far an targaid. Bidh na mìrean sin an uairsin a’ siubhal tron fhalamh agus a’ tasgadh air an t-substrate, a’ cruthachadh film tana.
6. Smachd: Faodar smachd mionaideach a chumail air tiugh agus co-dhèanamh an fhilm le bhith ag atharrachadh paramadairean leithid a’ chumhachd a thathar a’ cur air an targaid, cuideam a’ ghasa neo-ghnìomhach, agus fad a’ phròiseis sputtering.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 12 Iuchar 2024