Mar as trice bidh na prìomh cheumannan a leanas ann an sruth-obrach innealan-còmhdach optaigeach: ro-làimhseachadh, còmhdach, sgrùdadh is atharrachadh film, fuarachadh agus toirt air falbh. Faodaidh am pròiseas sònraichte atharrachadh a rèir an seòrsa uidheamachd (leithid inneal-còmhdach falmhachaidh, inneal-còmhdach sputtering, msaa.) agus a’ phròiseas còmhdach (leithid film aon-fhilleadh, film ioma-fhilleadh, msaa.), ach san fharsaingeachd, tha am pròiseas còmhdach optaigeach mar a leanas:
An toiseach, an ìre ullachaidh
Glanadh agus ullachadh phàirtean optaigeach:
Mus tèid còmhdach a chur orra, feumar co-phàirtean optaigeach (leithid lionsan, sìoltachain, glainne optaigeach, msaa.) a ghlanadh gu mionaideach. Is e an ceum seo am bunait airson dèanamh cinnteach à càileachd a’ chòmhdaich. Am measg nan dòighean glanaidh a thathas a’ cleachdadh gu cumanta tha glanadh ultrasonach, picilte, glanadh smùid agus mar sin air adhart.
Mar as trice bidh na h-eileamaidean optigeach glan air an cur air an inneal rothlach no an siostam glacaidh den inneal còtaidh gus dèanamh cinnteach gum fuirich iad seasmhach rè a’ phròiseas còtaidh.
Ro-làimhseachadh seòmar falamh:
Mus tèid an eileamaid optaigeach a chur anns an inneal-còmhdachaidh, feumar an seòmar-còmhdachaidh a phumpadh gu ìre àraid de fhalamh. Faodaidh an àrainneachd fhalamh neo-chunbhalachdan, ocsaidean agus ceò uisge a thoirt air falbh gu h-èifeachdach san adhar, casg a chuir orra bho bhith ag ath-bhualadh leis an stuth còmhdaich, agus dèanamh cinnteach à purrachd agus càileachd an fhilm.
San fharsaingeachd, feumaidh an seòmar còtaidh falamh àrd (10⁻⁵ gu 10⁻⁶ Pa) no falamh meadhanach (10⁻³ gu 10⁻⁴ Pa) a choileanadh.
San dàrna àite, am pròiseas còmhdachaidh
Stòr còmhdach tòiseachaidh:
Mar as trice is e stòr falmhachaidh no stòr spùtaidh an stòr còmhdach. Thèid diofar stòran còmhdach a thaghadh a rèir a’ phròiseis còmhdach agus an stuth.
Stòr falmhachaidh: Tha an stuth còmhdaich air a theasachadh gu staid falmhachaidh le bhith a’ cleachdadh inneal teasachaidh, leithid falmhaiche beam electron no falmhaiche teasachaidh strì, gus am bi na moileciuilean no na dadaman aige a’ falmhachadh agus air an tasgadh air uachdar an eileamaid optigeach ann am falamh.
Stòr spùtaidh: Le bhith a’ cur bholtaids àrd an sàs, bidh an targaid a’ bualadh ri ianan, a’ spùtadh a-mach dadaman no moileciuilean na targaid, a tha air an tasgadh air uachdar an eileamaid optigeach gus film a chruthachadh.
Tasgadh stuth film:
Ann an àrainneachd falamh, bidh an stuth còmhdaichte a’ falmhachadh no a’ spùtadh bho thùs (leithid stòr falmhachaidh no targaid) agus mean air mhean a’ tasgadh air uachdar an eileamaid optigeach.
Feumar smachd mionaideach a chumail air an ìre tasgaidh agus tighead an fhilm gus dèanamh cinnteach gu bheil an còmhdach film cunbhalach, leantainneach, agus a’ coinneachadh ri riatanasan an dealbhaidh. Bidh buaidh dhìreach aig paramadairean rè tasgadh (leithid sruth, sruthadh gas, teòthachd, msaa.) air càileachd an fhilm.
Sgrùdadh film agus smachd tighead:
Anns a’ phròiseas còtaidh, mar as trice bithear a’ cumail sùil air tiugh agus càileachd an fhilm ann an àm fìor, agus is e na h-innealan sgrùdaidh a thathas a’ cleachdadh gu cumanta meanbh-chothromachadh criostail grian-chloiche (QCM) ** agus mothachairean eile, a dh’ fhaodas ìre tasgaidh agus tiugh an fhilm a lorg gu ceart.
Stèidhichte air an dàta sgrùdaidh seo, faodaidh an siostam paramadairean leithid cumhachd an stòr còmhdaich, ìre sruthadh a’ ghasa no astar rothlaidh a’ phàirt atharrachadh gu fèin-ghluasadach gus cunbhalachd agus aonfhoirmeachd an t-sreath film a chumail suas.
Film ioma-fhilleadh (ma tha feum air):
Airson co-phàirtean optaigeach a dh’ fheumas structar ioma-fhilleadh, mar as trice bidh am pròiseas còmhdachaidh air a dhèanamh sreath air sreath. Às dèidh gach sreath a thasgadh, nì an siostam lorg is atharrachadh tighead film a-rithist is a-rithist gus dèanamh cinnteach gu bheil càileachd gach sreath de fhilm a’ coinneachadh ri riatanasan an dealbhaidh.
Feumaidh am pròiseas seo smachd mionaideach air tighead agus seòrsa stuth gach sreath gus dèanamh cinnteach gum faod gach sreath gnìomhan leithid meòrachadh, tar-chur no bacadh a choileanadh ann an raon tonn-fhaid sònraichte.
San treas àite, fuaraich agus thoir air falbh
CD:
Às dèidh a’ chòtaidh a bhith deiseil, feumar na h-optaig agus an inneal còtaidh a fhuarachadh. Leis gum faod uidheam agus co-phàirtean fàs teth rè a’ phròiseis chòtaidh, feumar an fhuarachadh gu teòthachd an t-seòmair le siostam fuarachaidh, leithid uisge fuarachaidh no sruth-adhair, gus casg a chuir air milleadh teirmeach.
Ann an cuid de phròiseasan còtaidh aig teòthachd àrd, chan e a-mhàin gu bheil fuarachadh a’ dìon an eileamaid optaigeach, ach cuideachd a’ leigeil leis an fhilm greamachadh agus seasmhachd as fheàrr a choileanadh.
Thoir air falbh an eileamaid optaigeach:
Às dèidh don fhuarachadh a bhith deiseil, faodar an eileamaid optigeach a thoirt a-mach às an inneal còtaidh.
Mus tèid a thoirt a-mach, feumar buaidh a’ chòmhdaich a sgrùdadh, a’ gabhail a-steach cunbhalachd an t-sreath film, tiughas film, greamachadh, msaa., gus dèanamh cinnteach gu bheil càileachd a’ chòmhdaich a’ coinneachadh ris na riatanasan.
4. Iar-phròiseasadh (roghainneil)
Cruadhachadh film:
Uaireannan feumar am film còmhdaichte a chruadhachadh gus an aghaidh sgrìoban agus an seasmhachd a leasachadh. Mar as trice, thèid seo a dhèanamh le dòighean leithid làimhseachadh teas no rèididheachd ultraviolet.
Glanadh film:
Gus truailleadh, olan no neo-chunbhalachdan eile a thoirt air falbh bho uachdar an fhilm, is dòcha gum bi feum air beagan glanadh a dhèanamh, leithid glanadh, làimhseachadh ultrasonach, msaa.
5. Sgrùdadh agus deuchainn càileachd
Deuchainn coileanaidh optaigeach: Às dèidh a’ chòmhdach a bhith deiseil, thèid sreath de dheuchainnean coileanaidh a dhèanamh air a’ phàirt optaigeach, a’ gabhail a-steach tar-chuir solais, faileasachd, cunbhalachd film, msaa., gus dèanamh cinnteach gu bheil e a’ coinneachadh ris na riatanasan teicnigeach.
Deuchainn greamachaidh: Le deuchainn teip no deuchainn sgrìobaidh, dèan cinnteach a bheil an greamachadh eadar am film agus an t-substrate làidir.
Deuchainn seasmhachd àrainneachdail: Aig amannan bidh e riatanach deuchainnean seasmhachd a dhèanamh fo chumhachan àrainneachdail leithid teòthachd, taiseachd agus solas ultraviolet gus dèanamh cinnteach à earbsachd an t-sreath còmhdaich ann an tagraidhean practaigeach.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 24 Faoilleach 2025