Un appareil de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique est un dispositif permettant de déposer de fines couches de matériau sur un substrat. Ce procédé est couramment utilisé dans la production de semi-conducteurs, de cellules solaires et de divers types de revêtements pour applications optiques et électroniques. Voici un aperçu de son fonctionnement :
1. Chambre à vide : Le processus se déroule à l'intérieur d'une chambre à vide pour réduire la contamination et permettre un meilleur contrôle du processus de dépôt.
2. Matériau cible : Le matériau à déposer est appelé cible. Il est placé à l'intérieur de la chambre à vide.
3. Substrat : Le substrat est le matériau sur lequel le film mince sera déposé. Il est également placé à l'intérieur de la chambre à vide.
4. Génération de plasma : Un gaz inerte, généralement de l'argon, est introduit dans la chambre. Une haute tension est appliquée à la cible, créant un plasma (état de la matière constitué d'électrons et d'ions libres).
5. Pulvérisation : les ions du plasma entrent en collision avec le matériau cible, arrachant des atomes ou des molécules de la cible. Ces particules traversent ensuite le vide et se déposent sur le substrat, formant un film mince.
6. Contrôle : L'épaisseur et la composition du film peuvent être contrôlées avec précision en ajustant des paramètres tels que la puissance appliquée à la cible, la pression du gaz inerte et la durée du processus de pulvérisation.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 12 juillet 2024