Sputterointipinnoitustekniikan, erityisesti magnetronisputterointipinnoitustekniikan, kehittyessä ionipommituksen avulla voidaan valmistaa minkä tahansa materiaalin kohdekalvoa. Koska kohde sputteroidaan pinnoitusprosessissa jonkinlaiselle alustalle, sputteroidun kalvon laadulla on tärkeä vaikutus, joten kohdemateriaalille asetetaan tiukempia vaatimuksia. Kohdemateriaalin valinnassa on itse kalvon käytön lisäksi otettava huomioon myös seuraavat seikat:
1. Kohdemateriaalilla tulee olla hyvä mekaaninen lujuus ja kemiallinen stabiilius kalvon muodostumisen jälkeen
2. Kohteen ja alustan yhdistelmän on oltava vahva, muuten alustalla on oltava hyvä kalvomateriaalin yhdistelmä, ensin ruiskuttamalla pohjakalvo ja sitten valmistamalla tarvittava kalvokerros.
3 reaktiosputterointikalvomateriaalin on reagoitava helposti kaasun kanssa muodostaen kalvoyhdisteitä; 4.
4. Kalvon suorituskykyvaatimusten täyttämisen edellytyksenä on, että kohdemateriaalin ja alustan lämpölaajenemiskertoimen välinen ero on mahdollisimman pieni, jotta lämpöjännityksen vaikutus sputteroituun kalvoon minimoidaan.
Sputterointikalvon lämpöjännityksen vaikutus; 5.
5. Kalvon käyttö- ja suorituskykyvaatimusten mukaan kohdemateriaalin on täytettävä puhtaus, epäpuhtauspitoisuus, komponenttien tasaisuus, työstötarkkuus ja muut tekniset vaatimukset.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 21.12.2023