با توسعه روزافزون فناوری پوششدهی کندوپاش، به ویژه فناوری پوششدهی کندوپاش مگنترون، در حال حاضر، برای هر مادهای که بتوان با بمباران یونی، فیلم هدف را تهیه کرد، از آنجایی که هدف در فرآیند پوششدهی روی نوعی زیرلایه، کندوپاش میشود، کیفیت فیلم کندوپاش شده تأثیر مهمی دارد، بنابراین، الزامات ماده هدف نیز دقیقتر میشود. در انتخاب ماده هدف، علاوه بر کاربرد خود فیلم، باید موارد زیر را نیز در نظر گرفت:
۱. ماده هدف باید پس از تشکیل فیلم، از استحکام مکانیکی و پایداری شیمیایی خوبی برخوردار باشد.
۲. ترکیب هدف و زیرلایه باید قوی باشد، در غیر این صورت باید با زیرلایهای که ترکیب خوبی از مواد غشایی دارد، گرفته شود، ابتدا یک فیلم پایه را کندوپاش کرده و سپس لایه غشایی مورد نیاز را آماده کنید.
۳- به عنوان یک ماده غشای کندوپاش واکنشی، باید به راحتی با گاز واکنش دهد تا ترکیبات غشایی تولید شود.
۴. با فرض برآورده شدن الزامات عملکرد غشاء، اختلاف بین ضریب انبساط حرارتی ماده هدف و زیرلایه تا حد امکان کم است، به طوری که اثر تنش حرارتی بر غشاء کندوپاش شده به حداقل برسد.
تأثیر تنش حرارتی فیلم کندوپاش؛ 5.
5. با توجه به الزامات استفاده و عملکرد غشاء، ماده هدف باید خلوص، محتوای ناخالصی، یکنواختی اجزا، دقت ماشینکاری و سایر الزامات فنی را برآورده کند.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۲۱ دسامبر ۲۰۲۳