Estaldura optikoen lan-fluxuak normalean urrats nagusi hauek ditu: aurretratamendua, estaldura, filmaren monitorizazioa eta doikuntza, hoztea eta kentzea. Prozesu espezifikoa alda daiteke ekipamendu motaren (adibidez, lurruntze-estaldura, sputtering-estaldura, etab.) eta estaldura-prozesuaren (adibidez, geruza bakarreko filma, geruza anitzeko filma, etab.) arabera, baina, oro har, estaldura optikoaren prozesua gutxi gorabehera honako hau da:
Lehenik eta behin, prestaketa fasea
Osagai optikoen garbiketa eta prestaketa:
Estaldura eman aurretik, osagai optikoak (lenteak, iragazkiak, beira optikoa, etab.) ondo garbitu behar dira. Urrats hau da estalduraren kalitatea bermatzeko oinarria. Garbiketa-metodo ohikoenen artean daude ultrasoinu bidezko garbiketa, dekapaketa, lurrun bidezko garbiketa eta abar.
Elementu optiko garbiak estaldura-makinaren biraketa-gailuan edo finkatze-sisteman jartzen dira normalean, estaldura-prozesuan egonkor egon daitezen.
Hutseko ganberaren aurretratamendua:
Elementu optikoa estaldura-makinan sartu aurretik, estaldura-ganbera huts-maila jakin batera ponpatu behar da. Hutsune-inguruneak aireko ezpurutasunak, oxigenoa eta ur-lurruna eraginkortasunez kentzen ditu, estaldura-materialarekin erreakzionatzea eragozten du eta filmaren purutasuna eta kalitatea bermatzen ditu.
Oro har, estaldura-ganberak hutsune handia (10⁻⁵ eta 10⁻⁶ Pa artean) edo hutsune ertaina (10⁻³ eta 10⁻⁴ Pa artean) lortu behar du.
Bigarrenik, estaldura prozesua
Hasierako estalduraren iturria:
Estaldura-iturria normalean lurruntze-iturria edo sputtering-iturria izaten da. Estaldura-iturri desberdinak hautatuko dira estaldura-prozesuaren eta materialaren arabera.
Lurruntze-iturria: Estaldura-materiala lurruntze-egoerara berotzen da berogailu bat erabiliz, hala nola elektroi-izpien lurrungailu bat edo erresistentzia-berogailu baten lurrungailu bat, molekulak edo atomoak lurrundu eta elementu optikoaren gainazalean hutsean metatu daitezen.
Ihinztadura-iturria: Tentsio altua aplikatuz, helburuak ioiekin talka egiten du, helburuaren atomoak edo molekulak ihinztadura bidez kanporatuz, eta hauek elementu optikoaren gainazalean metatzen dira film bat osatzeko.
Film materialaren metaketa:
Hutsean dagoen ingurune batean, estalitako materiala iturri batetik (lurruntze-iturri edo jomuga, adibidez) lurrundu edo ihinztatu egiten da eta pixkanaka elementu optikoaren gainazalean metatzen da.
Geruza uniformea, jarraitua eta diseinu-eskakizunak betetzen dituela ziurtatzeko, metatze-tasa eta filmaren lodiera zehatz-mehatz kontrolatu behar dira. Metatzean zeharreko parametroek (korrontea, gas-fluxua, tenperatura, etab.) zuzenean eragingo dute filmaren kalitatean.
Filmaren monitorizazioa eta lodieraren kontrola:
Estaldura-prozesuan, filmaren lodiera eta kalitatea denbora errealean kontrolatzen dira normalean, eta ohiko monitorizazio-tresnak kuartzozko kristalezko mikrobalantza (QCM) ** eta beste sentsore batzuk dira, filmaren metatze-tasa eta lodiera zehatz-mehatz detektatu ditzaketenak.
Jarraipen-datu hauetan oinarrituta, sistemak automatikoki doi ditzake estaldura-iturriaren potentzia, gas-emaria edo osagaiaren biraketa-abiadura bezalako parametroak, film-geruzaren koherentzia eta uniformetasuna mantentzeko.
Geruza anitzeko filma (beharrezkoa bada):
Geruza anitzeko egitura behar duten osagai optikoetarako, estaldura-prozesua geruzaz geruza egiten da normalean. Geruza bakoitzaren metaketaren ondoren, sistemak filmaren lodieraren detekzioa eta doikuntza errepikatuak egingo ditu, filmaren geruza bakoitzaren kalitatea diseinu-eskakizunak betetzen dituela ziurtatzeko.
Prozesu honek geruza bakoitzaren lodiera eta material mota zehatz-mehatz kontrolatzea eskatzen du, geruza bakoitzak islapena, transmisioa edo interferentzia bezalako funtzioak uhin-luzera tarte jakin batean bete ahal izan ditzan ziurtatzeko.
Hirugarrenik, hoztu eta kendu
CDa:
Estaldura amaitu ondoren, optika eta estaldura-makina hoztu behar dira. Ekipamendua eta osagaiak berotu daitezkeenez estaldura-prozesuan zehar, giro-tenperaturara hoztu behar dira hozte-sistema baten bidez, hala nola hozteko uraren edo aire-fluxuaren bidez, kalte termikoak saihesteko.
Tenperatura altuko estaldura-prozesu batzuetan, hozteak ez du elementu optikoa babesten bakarrik, baizik eta filmak atxikimendu eta egonkortasun optimoa lortzea ere ahalbidetzen du.
Elementu optikoa kendu:
Hoztea amaitutakoan, elementu optikoa estaldura-makinatik atera daiteke.
Atera aurretik, estalduraren efektua egiaztatu behar da, film geruzaren uniformetasuna, film lodiera, atxikimendua eta abar barne, estalduraren kalitatea baldintzak betetzen dituela ziurtatzeko.
4. Postprozesamendua (aukerakoa)
Filmaren gogortzea:
Batzuetan, estalitako filma gogortu behar da marraduraren aurkako erresistentzia eta iraunkortasuna hobetzeko. Horretarako, normalean tratamendu termikoa edo erradiazio ultramorearen bidez egiten da.
Filmaren garbiketa:
Filmaren gainazaleko kutsatzaileak, olioak edo bestelako ezpurutasunak kentzeko, beharrezkoa izan daiteke garbiketa txiki bat egitea, hala nola garbiketa, ultrasoinuen tratamendua, etab.
5. Kalitate ikuskapena eta probak
Errendimendu optikoaren proba: Estaldura amaitu ondoren, hainbat errendimendu proba egiten zaizkio osagai optikoari, besteak beste, argiaren transmitantzia, islagarritasuna, filmaren uniformetasuna eta abar, baldintza teknikoak betetzen dituela ziurtatzeko.
Itsaspen-proba: Zinta-proba edo marradura-proba bidez, egiaztatu filmaren eta substratuaren arteko itsaspena sendoa den ala ez.
Ingurumen-egonkortasun probak: Batzuetan beharrezkoa da egonkortasun probak egitea ingurumen-baldintzetan, hala nola tenperaturan, hezetasunean eta argi ultramorean, estaldura-geruzaren fidagarritasuna bermatzeko aplikazio praktikoetan.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2025eko urtarrilaren 24a