Pihustuskatte tehnoloogia, eriti magnetronpihustuskatte tehnoloogia üha arenedes saab ioonpommitamise teel valmistada sihtmärkkile mis tahes materjali jaoks. Kuna sihtmärk pihustatakse mingisuguse aluspinna peale katmise käigus, on pihustatud kile kvaliteedil oluline mõju. Seetõttu on ka sihtmärgi materjalile esitatavad nõuded rangemad. Sihtmärgi materjali valimisel tuleks lisaks kile enda kasutamisele arvestada ka järgmiste aspektidega:
1. Pärast kile moodustumist peaks sihtmaterjalil olema hea mehaaniline tugevus ja keemiline stabiilsus
2. Sihtmärgi ja aluspinna kombinatsioon peab olema tugev, vastasel juhul tuleks aluspinnal membraanimaterjali hea kombinatsioon valida, esmalt pritsida aluskile ja seejärel valmistada vajalik membraanikiht.
3 reaktsioonipihustava membraanimaterjalina peab gaasiga kergesti reageerima, et moodustada membraaniühendeid; 4.
4. Membraani toimivuse nõuete täitmise eeldusel on sihtmaterjali ja aluspinna soojuspaisumisteguri erinevus võimalikult väike, et minimeerida termilise pinge mõju pritsitud membraanile.
Termilise pinge mõju pihustuskilele; 5.
5. Membraani kasutus- ja toimivusnõuete kohaselt peab sihtmaterjal vastama puhtuse, lisandite sisalduse, komponentide ühtluse, töötlemise täpsuse ja muude tehniliste nõuete nõuetele.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 21. detsember 2023