Seade kasutab elektronkiire aurustamise tehnoloogiat. Katoodi filamendist kiirguvad elektronid fokuseeritakse teatud kiirevooluks, mida kiirendab katoodi ja tiigli vaheline potentsiaal, et sulatada ja aurustada kattematerjal. Sellel on kõrge energiatihedus ja see suudab aurustada kattematerjali sulamistemperatuuriga üle 3000 ℃. Kilel on kõrge puhtusaste ja kõrge termiline efektiivsus.
Seade on varustatud elektronkiire aurustusallika, ioonallika, kile paksuse jälgimissüsteemi, kile paksuse korrigeerimisstruktuuri ja stabiilse vihmavarjukujulise detaili pöörlemissüsteemiga. Ioonallika abil katmine suurendab kile kompaktsust, stabiliseerib murdumisnäitajat ja väldib niiskuse tõttu lainepikkuse nihke nähtust. Täisautomaatne kile paksuse reaalajas jälgimissüsteem tagab protsessi korduvuse ja stabiilsuse. See on varustatud ise sulava funktsiooniga, et vähendada sõltuvust operaatori oskustest.
Seadet saab kasutada mitmesuguste oksiidide ja metallkattematerjalide jaoks ning seda saab katta mitmekihiliste täppis-optiliste kiledega, näiteks AR-kile, pikalainelise läbilaskvusega kile, lühilainelise läbilaskvusega kile, helendava kile, AS/AF-kile, IRCUT, värvikile süsteemi, gradientkile süsteemi jne. Seda on laialdaselt kasutatud AR-prillides, optilistes läätsedes, kaamerates, optilistes läätsedes, filtrites, pooljuhtide tööstuses jne.