Kun la kreskanta disvolviĝo de ŝpruc-tegaĵa teknologio, precipe magnetrona ŝpruc-tegaĵa teknologio, nuntempe, ajna materialo povas esti preparita per jona bombado de celfilmo. Ĉar la celo estas ŝprucita dum la procezo de tegado al iu speco de substrato, la kvalito de la ŝprucita filmo havas gravan efikon, tial la postuloj por la cela materialo ankaŭ estas pli striktaj. Dum la elekto de la cela materialo, krom la uzo de la filmo mem, oni devas ankaŭ konsideri la jenajn aferojn:
1. La cela materialo devus havi bonan mekanikan forton kaj kemian stabilecon post la formado de la filmo
2. La kombinaĵo de celo kaj substrato devas esti forta, alie oni devas preni bonan kombinaĵon de membrana materialo se la substrato havas bonan kombinaĵon, unue ŝprucigi bazan filmon kaj poste prepari la bezonatan membranan tavolon.
3 kiel reakcia ŝprucmembrana materialo devas esti facile reaganta kun la gaso por generi membrano-komponaĵojn; 4.
4. Sub la premiso plenumi la postulojn de membrana funkciado, la diferenco inter la koeficiento de termika ekspansio de la cela materialo kaj la substrato estas kiel eble plej malgranda, por minimumigi la efikon de termika streĉo sur la ŝprucita membrano.
La influo de termika streĉo sur ŝprucfilmo; 5.
5. Laŭ la uzo kaj rendimentaj postuloj de la membrano, la cela materialo devas plenumi la purecon, malpuraĵan enhavon, komponentan homogenecon, maŝinadan precizecon kaj aliajn teknikajn postulojn.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 21-a de decembro 2023